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Eclipse L200N Series – IC inspection microscopes

nikon metrology industrial microscopes upright Eclipse L200N seriesAlliant le système optique supérieur de Nikon CFI60 LU/L et un nouveau système d’éclairage exceptionnel, ce microscope permet l’obtention d’images possédant un meilleur contraste et une haute capacité de résolution et d’images en fond noir trois fois plus claires qu'auparavant. Utilisés indépendamment ou en combinaison avec des chargeurs de wafer, les microscopes de la série L200 permettent de réaliser des opérations d’inspection optique extrêmement précises sur les wafers, les masques photo, les réticules et autres substrats.

Applications

  • Antennes
  • Télécommunication & électronique
  • Wafers
  • Optique
  • Téléphones portables, rasoirs et montres 

 

 
Caractéristiques clés et avantages
 

Trois modèles au choix

L200: Offers 200mm wafer and mask inspection capabilities for reflected light illumination defect identification with various observation methods such as brightfield, darkfield, simple polarizing and DIC.

L200ND: Offers 200mm wafer and mask inspection capabilities for both transmitted and relfected light illumination. In addition to the observation methods of the L200N, epi-fluorescence observations including 365nm UV exicitation is possible.


Protections contre la contamination

Le corps de ces microscopes est enduit d'un revêtement de finition spécifique contre l’accumulation de charges électrostatiques afin d’éviter que des particules étrangères ne viennent adhérer au microscope. En outre, le porte-objectifs motorisé utilise un moteur central qui emprisonne les particules étrangères à l’intérieur, empêchant ainsi qu’elles ne tombent sur l’échantillon.


Éclairage halogène haute intensité

L’éclairage halogène haute intensité 12 V-50 W (LV-LH50PC) assure une luminosité supérieure à celle de l’éclairage halogène 12 V-100 W tout en consommant la moitié moins d’électricité. Cette boîte lumière comprend un miroir arrière et un filament d’ampoule de dimensions optimisées pour permettre un éclairage efficace et uniforme sur le plan de la pupille, qui est essentiel dans un plan optique.


Microscopie DIC améliorée

Les objectifs CFI LU Plan de Nikon permettent l'utilisation de plusieurs techniques d’observation, notamment les observations en fond clair, fond noir et DIC Nomarski à l’aide d’un seul objectif. Pour l’observation en DIC, il vous suffit d’insérer dans le porte-objectifs un seul prisme de Nomarski qui fonctionne pour tous les facteurs de grossissement.


Design conforme aux normes SEMI S2-0200, S8-0600

Sur ces microscopes au design conforme aux normes SEMI, les commandes et les molettes sont placées en bas et à proximité de l'opérateur tandis que l'anneau oculaire est réglé à la hauteur idéale pour garantir le plus grand confort d'utilisation. Les commandes étant situées à des emplacements assurant le confort sur la base du microscope, les mouvements des mains sont réduits au minimum et l’opérateur peut ainsi se concentrer sur le processus d’inspection. L’oculaire est déplacé plus près de l’opérateur, de sorte qu’il ou elle peut se tenir plus droit en position assise. Grâce à cela, l’opérateur est également plus loin de la platine et bénéficie d’une position d’observation plus ergonomique et plus sûre.


Tube porte-oculaires inclinable

Le tube porte-oculaires est de type trinoculaire inclinable, ce qui permet un ajustement continu de l’angle d’inclinaison de 0° à 30° pour assurer une hauteur d’observation idéale. L'oculaire dispose également d’un design à champ d’observation ultra-large avec un champ d’observation de 25 mm.


Commandes de déplacement fin de la platine X-Y fixes

Les commandes de déplacement fin de la platine X-Y demeurent dans la même position, à proximité de l'avant, afin d'assurer une position d'observation confortable quelle que soit la position de la platine. De plus, ces commandes, ainsi que la molette de mise au point, sont situées proches les unes des autres vous que vous puissiez les actionner d’une seule main.


Porte-objectifs motorisé avec contrôle logiciel

nikon metrology industrial microscopes upright motorized nosepiece L200NThe motorized universal nosepiece for the L200N series microscope has improved centricity and is three times more durable than conventional models. It also contains an anti flash mechanism to protect the operators eyes when the nosepiece is rotated. The L200A built in motorized nosepiece includes a slot for DIC attachments, features a mechanical click stop and is controlled by software that enables the system to stop precisely at each respective objective position.


Système optique CFI60

Ce système permet l'obtention d'images exceptionnellement claires et nettes avec des distances de travail plus longues, une ouverture numérique élevée et un minimum de lumière parasite. Les rapports signal/arrière-plan lors des observations en fond noir sont trois fois plus élevés qu’auparavant pour procurer des images dotées d’un contraste exceptionnellement élevé qui garantissent des observations de haute précision.


Isolation contre les vibrations

En ayant recours à l’ingénierie assistée par ordinateur, Nikon a pu augmenter la rigidité des microscopes de la série L200, les rendant ainsi trois fois moins sensibles aux vibrations du sol que les équipements conventionnels. Cela réduit ainsi les risques d’images floues ou décalées, même en cas d’observation à des facteurs de grossissement élevés. Tandis que ce design supérieur augmente la stabilité, il a également pour résultat une diminution de l’encombrement.

 
Spécifications
Corps principal: Eclairage épiscopique intégré ; sources d’alimentation intégrées pour contrôle motorisé ; commande motorisée du porte-objectifs, commande d’intensité de la lumière ; commande du diaphragme d’ouverture
Mecanisme de mise au point: Course transversale: 29 mm ; Grossière: 12,7 mm par rotation (mécanisme de refocalisation à couple ajustable fourni) ; Fine: 0,1 mm par rotation (par incréments de 1 µm)
Eclairage épiscopique : Source de lumière par ampoule halogène 12 V/100 W intégrée ; diaphragme d’ouverture motorisé (centrable) ; diaphragme de champ fixe (avec cible de mise au point) ; possibilité d’installer un coulisseau perforé (en option) ; possibilité d’installer quatre filtres de 25 mm (NCB11/ND4/ND16/GIF) ; polariseur ; analyseur
Porte-objectifs:  Sextuple porte-objectifs motorisé fixe ; emplacement pour accessoire DIC
Tubes porte-oculaires: Tube trinoculaire inclinable ultra-large L2TT (angle d’inclinaison 0 à 30°, image droite) ; Champ d’observation : 25 mm ; Changement de trajet optique : Bidirectionnel (binoculaire:photo 100:0/0:100)
Platine: Platine 8 x 8 ; course: 205 x 205 mm ; changement de déplacement de mise au point grossière/fine possible ; commandes de déplacement fin de la platine X-Y fixes
Oculaires: Série d’oculaires CFI
Objectifs: Série CFI60 LU/L Plan
Poids: 43,75 kg (96,45 lbs) en cas d’utilisation de la platine 8 x 8 et du tube porte-oculaires L2TT
Conformité: SEMI S2-93A, S8-95, CE, UL
 
Brochures
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