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Série BW - un profilomètre sans contact de précision pour le profilage de surfaces à l’échelle subnanométrique

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope BW SeriesGrâce à la technologie de mesure par interférométrie optique à balayage développée en interne par Nikon, la résolution du relief atteint 1 picomètre (pm). Nikon propose divers microscopes optiques comme systèmes de mesure afin de répondre aux besoins de nombreuses applications de mesure.

 
Caractéristiques clés et avantages
 

Des performances de mesure supérieures

  • Effectue des mesures de l’ordre de 0,1 nm sur des surfaces ultra-lisses, sans calcul de moyennes ni processus de filtrage.
  • Permet de prendre des mesures avec la même résolution du relief dans une large plage de grossissement.
  • Permet de mesurer des surfaces lisses et rugueuses sans changer le mode de mesure ou les filtres optiques.
  • Capture des images entièrement mises au point et des images de hauteur de surface.

De nombreuses méthodes d’observation

Le système peut être utilisé comme un microscope optique. Il est en effet possible de procéder à des observations sur fond clair, à polarisation, en Contraste Interférentiel Différentiel et en fluorescence.


Wafer en SiC : des mesures subnanométriques dans une large place de grossissement

Type: BW-D501 system
Sujet: wafer en carbure de silicium (SiC)

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 2 5x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 5x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 10x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 20x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 50x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 100x BW Series


Mesure de l’ordre du nanomètre d’une lame de rasoir avec lentille à fort grossissement

Sujet: lame de rasoir

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope razor edge BW Series


Rugosité de la surface d’une feuille de papier (synthétique, lisse, glacé, mat)

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of synthetic paper BW SeriesRugosité de la surface d’une feuille de papier synthétique
nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of gloss paper BW SeriesRugosité de la surface d’une feuille de papier glacé
nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of plain paper BW SeriesRugosité de la surface d’une feuille de papier lisse
nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of matte paper BW SeriesRugosité de la surface d’une feuille de papier mat
 


Rugosité de la surface des céramiques

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of ceramics BW Series


Mesures précises de surfaces rugueuses de l’ordre du micromètre

Type: système BW-A501
Sujet:  membrane d’un diamant synthétisé par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
Photo reproduite avec l’aimable autorisation de: Hiromichi Toyota, Université d’Ehime, École supérieure de sciences et d’ingénierie

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Precise surface measurement BW Series

 


Boîtier de circuits intégrés : mesure de l’ordre du micromètre dans une large place de grossissement

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope IC Package Micrometer range measurement in a wide range of magnifications BW Series


Etalonnage de la hauteur suivant l’étalon VLSI certifié par le NIST

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Certificate of calibration BW Series


Système BW-D501

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope BW D501 system BW Series

 
Spécifications

 

Modèle pour usage général avec caméra haute résolution

BW-S501

BW-S502

BW-S503

BW-S505

BW-S506

BW-S507

Système optique de mesure

Variation de la mise au point avec interférométrie en lumière blanche (FVWLI)

Résolution de hauteur algorithmique

1pm (0.001 nm)

Répétabilité de la mesure de hauteur

σ: 8nm (mesure d'un échantillon de 8 μm)

Nombre de pixels

2046×2046, 1022×1022 (sélection par le logiciel)

Durée de mesure de hauteur

38 s, 16 s / 10 μm scan

Plage de mesure de hauteur

< 90 μm

< 20 mm

< 90 μm

< 20 mm

Plage de mesure (2.5X)

< 4448 x 4448 μm*

Commande piézo

Pilotage sur objectif

Pilotage sur tourelle

Axe Z

Manuel

Electrique

Manuel

Electrique

Axes XY

Manuel

Electrique

Manuel

Electrique

Logiciel

Bridgelements®

 

 

Modèle à très haute fréquence

BW-D501

BW-D502

BW-D503

BW-D505

BW-D506

BW-D507

Système optique de mesure

Focus Variation avec Interférométrie à lumière blanche

Résolution de hauteur algorithmique

1 pm (0.001 nm)

Répétabilité de la mesure de hauteur

σ8nm (mesure d'un échantillon de 8 μm)

Nombre de pixels

510x510

Durée de mesure de hauteur

4 s / 10 μm scan

Plage de mesure de hauteur

< 90 μm

< 20 mm

< 90 μm

< 20 mm

Plage de mesure

< 2015 x 2015 μm *

Commande piézo

Pilotage sur objectif

Pilotage sur tourelle

Axe Z

Manuel

Electrique

Manuel

Electrique

Axes XY

Manuel

Electrique

Manuel

Electrique

Logiciel

Bridgelements®


* La gamme peut être prolongée en changeant l'objectif du relais ou par l'assemblage.

 
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Industrial Instruments General Catalogue
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BW-Series
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Etudes de cas
Surface measurements with picometer resolution
Surface measurements with picometer resolution

BW-S and BW-D series White light interferometric microscope systems.

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Applications industrielles
 

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