Nikon Metrology NV | Europe
Changer la langue
Bienvenue chez Nikon Metrology, veuillez sélectionner votre région et votre langue.
 
 
 
Demande d'informations
 
 

NEXIV VMZ-K6555 - un système de vidéo-mesure confocal multifonction et révolutionnaire

nikon metrology vision systems VMZ K6555Le NEXIV VMZ-K6555 Confocal NIKON est le fruit de l’expérience de Nikon en technologies opto-mécatroniques (optiques, mécaniques et électroniques) de pointe. Il dispose de différentes optiques confocales pour une évaluation rapide et précise de fines surfaces tridimensionnelles, d’un traitement d’images et d’un laser auto focus TTL. Il permet également de réaliser des mesures de hauteur et en 2D avec le même champ de vision.
Le NEXIV VMZ-K6555 Confocal est utilisé pour inspecter et mesurer des dimensions importantes sur des structures extrêmement complexes de dispositifs semi-conducteurs élaborés, des cartes I/O gestion palpeur, des substrats de circuits imprimés, des MEMS ainsi pour que de nombreuses autres applications de précision.

 

Avantages

  • Mesure simultanée de la hauteur sur une large zone au moyen d’optiques confocales conçues en interne par Nikon
  • Mesure en 2D avec un zoom 15x - Fond Clair
  • Entièrement compatible avec la mesure de wafers de 300 mm dans des usines de semi-conducteurs
  • Handles printed circuit board sizes with its 650 x 550mm stroke

Applications

  • Boîtiers de circuits intégrés : flip chip/COF (plot)/COG, boîtier à puce (FBGA)/boîtier-système (plot, fil électrique), interposeur (hauteur de la pastille)
  • MEMS
  • Carte I/O gestion palpeur (palpeur silicone, palpeur Au)
  • Composants en verre de précision (microlentille, lentille de contact)
  • Largeur/hauteur de photo-espaceur pour filtre couleur d’écran plat
 
Caractéristiques clés et avantages
 

Exemples de mesure

nikon metrology vision systems bright field VMZ K6555Fond clair  nikon metrology vision systems confocal image VMZ K6555Image confocale  nikon metrology vision systems 3d cf image VMZ K6555Image confocale en 3D  
 nikon metrology vision systems edf image VMZ K6555Image EDF  nikon metrology vision systems csp bump height and size VMZ K6555Boîtier à puce, hauteur et dimension du plot  nikon metrology vision systems bonding wire loop height VMZ K6555Fil de liaison, hauteur de la boucle

Objectifs confocaux

Objectifs confocaux Type-S: 1.5x -Distance de travail. 35mm, 3x - Distance de travail. 24mm, 7.5x - Distance de travail. 5mm
Objectifs confocaux Type-H: 15x - Distance de travail. 20mm, 30x - Distance de travail 5mm

 
Spécifications
Objectif
Grossissement 3x 7.5x 15x 30x
D.T T24mm 5mm 20mm 5mm
Optiques confocales (mesure de la hauteur de la zone)
Champ de vision 4 x 3mm 1.6 x 1.2mm 0.8 x 0.6mm 0.4 x 0.3mm
Répétabilité de la mesure de la hauteur (2σ) 0.35µm 0.25µm 0.25µm 0.20µm
Résolution de la mesure de la hauteur 0.01µm      
Optique fond clair (mesure en 2D)
Méthode de zoom Zoom motorisé à 5 niveaux
Champ de vision 4 x 3mm to 0.27 x 0.2mm 1.6 x 1.2mm to 0.11 x 0.08mm 1.26 x 0.95mm to 0.1 x 0.074mm 0.63 x 0.47mm to 0.05 x 0.04mm
Éclairage Éclairage diascopique et épiscopique par LED blanches pour tous les types de grossissements. Éclairage annulaire à LED blanches pour les grossissements 3x et 7,5x
Auto focus Vision auto focus et laser auto focus TTL (mode balayage disponible)
Boîtier principal
Course (X, Y, Z) 300 x 400 x 150mm
Capacité de charge garantie 30 kg
Erreur maximale autorisée MPEE1X 1.5 + 2.5L/1000µm
Maximum permissible error MPEE1Y 2.5 + 2.5L/1000µm
Erreur maximale autorisée sur l’axe Z  MPEE1Z 1 + L/1000µm
Poids de l’unité principale 830 kg
Alimentation/consommation électrique 100 à 240 V CA ± 10 % 50/60 Hz/13 A à 6,5 A
Conditions d’utilisation Température: 20°C ± 0.5K, humidité : 70 % maximum
Conformité aux normes Marquage CE (basse tension/CEM/laser
Encombrement 2500 x 1900mm
 
Brochures
NEXIV VMZ-K Series
NEXIV VMZ-K Series

en

 
TEXT_CONTACTUS
42.517726, -83.69813899999997

Nikon Metrology, Inc

12701 Grand River Avenue
Brighton, MI 48116
United States

E-mail: sales.nm-us@nikon.com
Site web: www.nikonmetrology.com
Téléphone: (810) 220-4360

 
33.649429, -117.710097

Nikon Metrology, Inc (California)

12 Goodyear, Suite #105
Irvine, CA 92618
United States

E-mail: sales.nm-us@nikon.com
Site web: www.nikonmetrology.com
Téléphone: (949) 716-4440

 
32.916631, -96.98600299999998

Nikon Metrology, Inc (Texas)

8113 Ridgepoint Dr.
Irving, TX 75063
United States

E-mail: sales.nm-us@nikon.com
Téléphone: (810) 220-4360

 
 
Applications industrielles
 
Produits associés
 

Brochures

NEXIV VMZ-K Series
NEXIV VMZ-K Series

en