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NEXIV VMR-H3030 - Ultra-high precision model achieves sub-micrometer level uncertainty

nikon metrology vision systems NEXIV VMR H3030Le système de mesure vidéo automatisé le plus précis de Nikon est le « Système de mesure de référence maître » de votre laboratoire de métrologie. Le système de vision automatisé le plus précis de Nikon, le NEXIV VMR-H3030, possède les meilleures caractéristiques, la meilleure précision et la meilleure répétabilité de tous les systèmes de mesure NEXIV, avec une lecture minimale pouvant descendre jusqu’à 0,01 µm. Il propose une platine de 300 x 300 x 150 mm ainsi que des fonctions de balayage de hauteur/profil laser TTL, reconnaissance intelligente des motifs et mesure des contours à faible contraste. Il s’agit de la solution idéale lorsqu’une précision exceptionnelle est fondamentale, notamment pour l’étalonnage des standards et des micromètres, filières et moules de référence et pièces de précision difficiles à mesurer ou de très petites dimensions.

Applications

  • Analyse de surface
  • Fabrication plastique, Fabrication métallique
  • Analyse de fissures et de ruptures
  • Microélectronique, Optoelectronique
  • Télécommunication et électronique, Antennes, Optique

 

 
Caractéristiques clés et avantages
 

nikon metrology vision systems nikon's most advanced optics NEXIV VMR H3030Optiques avancées

L'ultra-haute précision au dixième de micron près assure la qualité de détail indispensable à un instrument de mesure étalon. Le H3030 est doté d’un puissant module de zoom télécentrique 15:1, d’un objectif ayant une ouverture numérique de 0,35 et d’une distance de travail libre de 50 mm.


Conçu et fabriqué pour l’ultra haute précision

Conçu pour mesurer avec une précision inférieure au micron, le VMR-H3030 est un appareil massif (3 fois plus lourd que son équivalent, le VMR-3020). La platine est fabriquée en métal à faible coefficient de dilatation avec des glissières reposant sur des roulements à rouleaux pour forte charge. Des règles encodées à haute résolution (avec un faible coefficient de dilatation) permettent d’effectuer des mesures 10 fois plus précises qu’avec notre système de mesure Nexiv. 


Mise au point laser  (TTL) Laser Focusing System

Permet aux utilisateurs d’utiliser totalement la puissante optique afin de réaliser un balayage à 1 000 points par seconde sur les profils complexes de pièces de précision en 3D et un système de zoom télécentrique 15X qui facilite les recherches à de faibles facteurs de grossissement.


nikon metrology vision systems unsurpassed edge detection NEXIV VMR H3030

Détection des contours

Les parties noires et grises d’une pièce sont classées numériquement en 256 niveaux puis les contours sont détectés et traités en se basant sur cette classification. Cela empêche que les données de mesure ne soient affectées par les changements d’éclairage.

Lorsque l’opérateur clique sur le point à mesurer, le système tourne automatiquement les sondes, les place dans la position optimale et paramètre automatiquement leur dimension. Vous pouvez facilement sélectionner les contours de votre choix en éliminant la poussière et les bavures par le biais d’une modification du niveau de seuil de contraste. Des algorithmes uniques permettent d’améliorer la détection des contours même à des facteurs de grossissement faibles.

 


nikon metrology vision systems multiple illumination choices NEXIV VMR H3030

Différents éclairages

Le large choix d’options d’éclairage facilite la détection des contours des filières et des moules. Ces options comprennent:

  • Dispositifs d’éclairage à deux anneaux de LED - système d'éclairage à 8 segments composé d'un anneau d’éclairage intérieur (angle oblique de 37° par rapport à l'axe optique) et d'un anneau d’éclairage extérieur (angle oblique de 75°) permettant l’observation de contours à contraste extrêmement faible qui sont habituellement invisibles sous un éclairage épiscopique.
  • Éclairage épiscopique – lumière supérieure
  • Éclairage diascopique — éclairage inférieur
  • Les contours difficiles à capturer auparavant peuvent être détectés avec une résolution élevée.

nikon metrology vision systems powerful VMA AutoMeasure software iNEXIV VMA 2520

Logiciel Automeasure

Ce logiciel comporte des assistants de mesure personnalisables par chaque opérateur pour faciliter les utilisations ultérieures. Les fonctions de recherche intelligentes éliminent les éventuelles erreurs de mesure et une fonction de recherche multi-motif corrige automatiquement les différences d’une pièce à l’autre ainsi que les déviations par rapport aux emplacements attendus des contours ou des éléments. NEXIV propose également un système de mesure de correspondance de motif qui détermine des valeurs de coordonnées pour des éléments trop difficiles à mesurer dans le mode de mesure géométrique normal.


Socles en acier

Pour une plus grande stabilité dans n’importe quel environnement, les rails des platines sont conçus avec un design tel qu’on en voit sur les machines-outils haut de gamme.


nikon metrology vision systems VMR Z120X maximum magnification model NEXIV VMR H3030

VMR-Z120X avec module de grossissement maximum

Ce modèle offre une précision encore plus grande grâce à des facteurs de grossissement optique pouvant aller jusqu’à 120x. Idéal pour mesurer les wafers des boîtiers-puces, la hauteur des bosses des tranches et les systèmes en boîtiers, les masques réacheminés et les masques pour MEMS. Autres caractéristiques:

  • La platine haute précision facilite l’obtention de mesures précises sur des pièces de dimensions encore plus grandes
  • Permet de mesurer les largeurs supérieures et inférieures des lignes gravées
  • L’autofocus laser facilite la mesure des hauteurs de bosses très petites
  • Permet l’évaluation de la forme des sections transversales des bosses et des boules de soudure
 
Spécifications
Course (X x Y x Z) Standard- 300 x 300 x 150mm (11.8 x 11.8 x 5.9 in); avec module de fort grossissement VMR-z120x 300 x 300 x 150mm (11.8 x 11.8 x 5.9 in)
Précision de la mesure
(X . Y)
Standard U1XY - ; Fort grossissement U2XY (0.9 + L/300) microns; U1XY (0.6 + L/300) µm
Hauteur maximum de l'échantillon Standard 150; Fort grossissement150
Précision du guide d'axe Z (0.9 + L/150) µm
Dimensions (L x P x H)  et poids (unité centrale) (table comprise) 1000 x 1230 x 1900 mm (39.4 x 48.4 x 74.8 in); 600kg (1322.8 lb)
Champ d'observation (Modèle standard / Modèle fort grossissement) Image AF, Laser AF
(Standard) 10 x 8 to 1 x 0.8mm; (Modèle fort grossissement 1) 4 x 3.2 to 0.4 x 0.32mm; (Modèle fort grossissement 2) 2 x 1.6 to 0.2 x 0.16mm; (Modèle fort grossissement 3) 1 x 0.8 to 0.1 x 0.08mm
Lecture minimale 0.01 µm
Encombrement (P x L) 1500 x 2000 mm (59.1 x 78.7 in)
Poids maximum de la pièce examinée 10kg (22.0 lb)
Dimensions (L x P x H) et poids (Illuminateur) 220 x 130 x 360mm (8.7 x 5.1 x 14.2 in); 7kg (15.4 lb)
Grossissement 5 niveaux de zoom pour tous les modèles- (Standard) 0.75x to 7.5x; (Modèle fort grossissement 1) 1.875x to 18.75x; (Modèle fort grossissement  2) 3.75x to 37.5x; (Modèle fort grossissement  3) 7.5x to 75x
Source d'alimentation 100 à 240 V c,a ±10%, 50/60 Hz
Consommation électrique Environ 15A
Caméra  Caméra CCD N&B ou couleur
Ordinateur associé Unité principale compatible
 
Etudes de cas
Inspection and Measurement of Sensors
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Sensors are electronic devices that measure an environmental condition, quantitifies and converts it into a signal that can be read by an observer or an instrument. Many sensors are based on etched silicon wafers and it is important to measure its critical dimensions and the depth of the etching.

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Inspection and measurement of Soft Material Seals
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The design of soft material seals for automotive doors and other applications has become more complex in recently. As design and manufacturing requirements for soft material seals have become more intricate, the need for fast and accurate, automated inspection of finished seals has also increased.

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Applications industrielles
 

Etudes de cas

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