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NEXIV VMR-C4540 – système de mesure par vidéo à CN

nikon metrology semiconductor inspection VMR C4540Provides all dimensional measurements required for wafer carrier fabrication including control of deformation due to aging of wafer carriers.

The NEXIV VMR-C4540 - designed for use with 300mm Front Opening Unified Pod (FOUP) & Front Opening Shipping Box (FOSB) wafer carriers - detects hard to see edges using a variety of illumination features as well as Nikon's unique image processing technologies. By incorporating laser AF that provides quick non-contact focusing, even on transparent surfaces and on the edge of the peripheries of the wafer, the VMR-C4540 is able to measure SEMI-standard dimensions with excellent accuracy.

Applications:

  • Composants de transmission
  • Électronique et télécommunications
  • Wafers
  • Mesure automatisée
  • Optiques de télescope
  • Antennes
  • Téléphones mobiles, rasoirs électriques et montres
 
Spécifications
Porte-wafers compatibles (FOUP, FOSB, OC) Porte-wafers ø300 mm conformes SEMI
Porte-wafers de 200 mm (avec adaptateur spécial)
Course de la tête de mesure (X x Y x Z) 480 x 180 x 400 mm (18.9 x 7.1 x 15.7 pouces)
Course du plateau rotatif 360° ° (par incréments de 90°)
Lecture minimum 0.1µm
Vitesse de déplacement de la tête

Axe XZ : max. 200 mm/s (7,9 pouces)

Axe Y : max. 50 mm/s (2,0 pouces)
Vitesse de rotation de la plaque cinématique 90°/2 sec.
Caméra Caméra noir et blanc CCD 1/2 pouce
Grossissement optique 0,27x à 2,74x (zoom 10x à 5 niveaux)
Champ de vision 20 x 16 mm to 2.0 x 1.6 mm
Poids maximum de la pièce 15kg (33.1 lb.)
Précision de mesure (10 + 10L/1000)µm, L = longueur en mm
Répétabilité (2σ) 2µm
Éclairage Épiscopique, diascopique, fond noir
Auto focus Laser auto focus, vision auto focus
Alimentation électrique AC100-240V±10%, 50/60Hz
Power consumption (approx.) 100-120 V CA : 13 A (unité principale), 9 A (PC)
200-240 V CA : 7 A (unité principale), 5 A (PC)
Dimensions 1 400 (L) x 1 739 (P) x 2 530 (H) mm (55,1 x 68,5 x 99,6 pouces)
Poids Approx. 1400kg (3086.41 lb.)
Ordinateur associé PC Windows® 7
Moniteur Écran TFT 19 pouces
 
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