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Eclipse L300N Series – FPD/LSI inspection microscopes

nikon metrology industrial microscopes upright Eclipse L300N seriesLes microscopes Nikon Eclipse L300N/L300ND FPD  pour l’inspection des wafers utilisent les célèbres optiques à l’infini CFI60 de Nikon, qui offrent les meilleures performances optiques qu’on peut trouver au monde. La fonction d’épi-fluorescence renforcée, qui permet l’excitation des UV 365nm, est ce qui convient le mieux pour l’inspection des résidus résistants des semi-conducteurs sur les wafers de 300 mm et l’affichage électroluminescent organique.

Applications

  • Antennes
  • Télécommunication & électronique
  • Optique
  • Téléphones portable, rasoirs et montres
 
Caractéristiques clés et avantages
 

Observation par épi-fluorescence

Les L300N/L300ND proposent de puissantes fonctions d’observation par épi-fluorescence, ce qui permet d’élargir la plage d’inspection, en incluant l’excitation 365 nm. Il est également possible d’utiliser l’éclairage diascopique et plusieurs autres méthodes d’observation, comme le fond clair, le fond noir, la polarisation simple et le Contraste par Interférence Différentielle. Cette polyvalence d’observation est très intéressante pour l’inspection des résidus résistants des semi-conducteurs et l’affichage électroluminescent organique.

nikon metrology industrial microscopes upright brightfield observation of wafer pattern L300NBrightfield observation of wafer pattern

nikon metrology industrial microscopes upright darkfield observation L300NDarkfield observation


nikon metrology industrial microscopes upright dic observation L300NDIC observation


nikon metrology industrial microscopes upright epi fluorescence observation organic subtsance on wafer L300NEpi-fluorescence observation of organic substance on wafer


Eclairage motorisé aux fibres de mercure

  • L’éclairage Intensilight pré-centré et motorisé, à fibres de mercure, de Nikon, permet d’accéder à un niveau supérieur d’observation par épi-fluorescence.
  • Plus besoin de centrer la lampe et de faire une mise au point, même après un remplacement de la lampe.
  • On peut éloigner la source lumineuse du microscope, ce qui diminue la chaleur à proximité du microscope et empêche la mise au point de se dérégler.
  • Le contrôle du volet et de l’intensité variable de la lumière offre une excellente flexibilité.
  • L’espérance de vie moyenne de la lampe est de 2000 heures.

Quatre fois plus lumineux que l’éclairage diascopique traditionnel

Le L300ND utilise une nouvelle source lumineuse et des optiques de pointe pour offrir un éclairage quatre fois plus lumineux qu’en observation diascopique.


Eclairage halogène 12V-50W haute intensité

Le nouvel éclairage 12V-50W haute intensité est plus lumineux qu’un éclairage standard 12V-100W.

  • Utilise le porte-lampe pré centré LV-LH50PC, qui offre une plus grande luminosité que l’éclairage 12V-100W, pour une consommation réduite de moitié. Cela est adapté pour l’observation des semi-conducteurs et des LCD.
  • Comprend un miroir à l’arrière du porte-lampe. L’optimisation de la taille du filament de la lampe permet de rendre plus efficace et uniforme l’éclairage sur le plan de la pupille, ce qui est capital dans un système optique. Les objectifs avec un grossissement de 50X et plus bénéficient de 20% de plus de luminosité, comparé à l’éclairage standard 12V-100W. 
  • Conception respectueuse de l’environnement et réduction des dérèglements de la focale causés par la chaleur.

Les optiques CFI60 proposent une grande distance de travail et une grande ouverture numérique

  • nikon metrology industrial microscopes upright CFI60 optics L300NLes optiques originales CFI60 de Nikon offrent à la fois une image lumineuse, grâce à la grande ouverture numérique, et une plus grande plage d’échantillons et un meilleur accès grâce à leur plus grande longueur de travail.
  • Peu de reflets, et par conséquent des images claires, à fond clair et fortement contrastées.
  • Le faisceau de lentilles "fly-eye", qui permet un éclairage uniforme dans tout le champ visuel, est utilisé pour les optiques d’éclairage à fond noir, ce qui permet d’obtenir des images remarquablement lumineuses, à fond noir et à haute résolution. 

Porte-objectif universel motorisé

Le nouveau porte-objectif universel motorisé dure trois fois plus longtemps que les modèles conventionnels.

  • Possibilité de monter jusqu’à six objectifs
  • Mécanisme de centrage possible sur trois positions du porte-objectif.
  • Un centrage amélioré minimise la dérive de l’image quand on change d’objectif, même sous fort grossissement. Les observations sont alors stables pour tous les grossissements.
  • Un mécanisme anti-flash se déclenche quand on tourne le porte-objectif pour protéger l’œil de l’opérateur.

Cible pour faciliter la mise au point

nikon metrology industrial microscopes upright focusing target L300NEn insérant une cible de mise au point dans le chemin optique, on rend possible une mise au point facile et précise sur les échantillons à faible contraste, comme les galettes de silicium nues


Revêtement antistatique pour une meilleure protection contre les contaminations

Le corps, le plateau, le tube oculaire et d’autres pièces de commande possèdent un revêtement antistatique. Ce revêtement renforce la protection contre les contaminations et permet d’empêcher les charges électrostatiques d’abimer les échantillons. Les rendements sont ainsi améliorés.


Tube trinoculaire pivotant permettant une observation à un niveau de point de vue optimal

  • nikon metrology industrial microscopes upright tilting trinocular eyepiece tube L300NChamp de vision ultra large de 25 mm et réglage de l’angle de point de vue entre 0° et 30°.
  • Permet aux opérateurs de régler le niveau de point de vue pour s’assurer une position de vision confortable.

Commande fine du déplacement X-Y sur une position fixe

La commande fine du déplacement X-Y est placée tout près de l’opérateur.
Toutes les commandes sont regroupées, ce qui permet de déplacer la platine et de faire la mise au point avec une grande facilité. 


Accès facile aux commandes

Les principaux boutons de commande sont situés à l’avant du microscope pour être plus accessibles.
Le fonctionnement du microscope est à la fois facile et rapide pendant l’observation des échantillons.
La fatigue est réduite pendant les observations longues.


Logiciel d’imagerie NIS-elements

Le logiciel Nikon d’imagerie NIS-elements permet d’optimiser le flux de l’observation, la capture d’image et l’analyse.

  • Tous les aspects du flux de l’image sont pris en compte, ce qui comprend les réglages pour de meilleures conditions d’observation, la capture, le traitement et l’analyse d’images numériques.
  • Fonctions avancées comme l’assemblage d’images de grande taille, la profondeur de champ étendue et la mesure automatique. 

 
Brochures
L200N-L300ND
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