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Microélectronique

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Plus petit, plus économique, plus rapide : telles sont les préoccupations constantes des fabricants d’appareils microélectroniques. Dans cette industrie, chaque nouvelle génération de produits doit dépasser ses prédécesseurs en termes de performances, tout en offrant des dimensions plus petites et sans impliquer d'augmentation significative des coûts.

Ces règles de fabrication affectent aussi chacun des composants impliqués dans leur fabrication, notamment:

• les transistors
• les condensateurs
• les bobines d’induction
• les résistances
• les diodes

Alors que la taille de ces dispositifs continue de diminuer, le besoin de techniques de mesure de plus en puissantes est en pleine croissance. Il faut en effet pouvoir analyser des cartes de circuits contenant une quantité de plus en plus importante d’éléments. À des échelles plus petites, l’effet de chaque imperfection est magnifié, tandis que les complications liées aux nouveaux designs, telles que les forces électrostatiques, commencent à avoir un impact considérable sur les performances.

Pour surveiller la qualité de la conception et de la production dans cet environnement, on utilise souvent une combinaison de plusieurs systèmes de microscopie. Parmi ces systèmes, on compte notamment:

• la stéréomicroscopie et la microscopie optique pour la recherche générale des défauts et l’inspection des liaisons ;
• la microscopie à lumière transmise et refléchie pour l’inspection des tranches ; et les systèmes de mesure vidéopour une analyse et des rapports détaillés de la métrologie ;
• les microscopes d’inspection des tranches et des masques pour l’identification des défauts par lumière réfléchie.

L’utilisation supplémentaire de caméras numériques à haute résolution et d’un logiciel d’analyse intuitif mais puissant peut encore améliorer le contrôle de la qualité et aider les fabricants à se préparer à la production de la nouvelle génération de puces et à faire face à des exigences encore plus strictes en termes d’ingénierie.

Techniques et instruments essentiels : stéréomicroscopie, éclairage à lumière transmise et réfléchie, microscopes inversés, systèmes de mesure vidéo, caméras numériques, NIS Elements.

 

 
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