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MEMS

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Dans le monde actuel, les produits électroniques de plus en plus miniaturisés, les systèmes microélectromécaniques (MEMS) et les systèmes nanoélectromécaniques (NEMS) définissent les normes de ce que l’on peut obtenir avec des méthodes d’ingénierie moderne. Bien que ces dispositifs soient typiquement produits en utilisant des techniques analogues à celles que l’on emploie dans l’industrie des semiconducteurs (tels que la photolithographie et divers processus de dépôt), les fabricants doivent être bien conscients des variations causées par l’important rapport surface-volume de ces dispositifs. À ces échelles, les règles normales de conception et de production commencent à s’estomper car les effets de surface tels que l’électricité statique et le mouillage deviennent répandus.

Description:

Les applications et les secteurs de recherche des MEMS s’étendent de l’exotique au quotidien mais sont le plus communément utilisés dans un certain nombre de technologies « intelligentes » incluant:

• les jauges de pression de carburant et les capteurs de débit d’air
• les capteurs de frein
• les accéléromètres destinés à améliorer le déploiement des airbags
• les actionneurs et les cantilevers
• les microbuses destinés à la vaporisation directe dans les imprimantes à jet d’encre
• les gyroscopes de navigation
• la microrobotique
• la « poussière électronique communicante » pour la détection des changements environnementaux

Bien qu’elles aient des applications totalement différentes, toutes ces technologies partagent des méthodes de fabrication communes et des processus de contrôle qualité qui nécessitent, par exemple, l’usage de la microscopie optique à haute résolution. Il est possible d’utiliser des stéréomicroscopes pour l’inspection des défauts et des débris tandis que les microscopes à lumière réfléchie motorisés, industriels et pour semiconducteurs peuvent être utilisés pour diverses techniques analytiques générales telles que l’observation en fond noir, DIC, polarisation, épi-fluorescence et l’interférométrie à double faisceau.

Plus récemment, on a également appliqué des systèmes de mesure vidéo à l’analyse de contrôle qualité dans les systèmes MEMS car ils offrent une précision extrêmement élevée et peuvent facilement être personnalisés pour s’adapter aux exigences d’observation spécifiques d’une large gamme d’applications.

 

 
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