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Serie BW: preciso perfilador de superficies sub nano con medición sin contacto

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope BW SeriesLa tecnología patentada de medición por interferencia óptica de escaneo de Nikon alcanza una resolución de 1 picómetro (pm) de altura. Nikon ofrece diversos microscopios ópticos como sistemas de medición para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones.

 
Ventajas y características
 

Rendimiento de medición superior

  • Logra mediciones a un nivel de 0.1 nm de superficies ultra uniformes, sin promediar ni filtrar.
  • Permite mediciones con la misma resolución de altura en una amplia gama de aumentos.
  • Permite medición de superficies uniformes o irregulares sin cambiar de modo de medición ni filtros ópticos.
  • Capta una imagen con enfoque completo y de altura de superficie.

Amplia gama de métodos de observación

El sistema puede utilizarse como microscopio óptico. Permite observaciones de campo claro, polarización, DIC y fluorescencia


Oblea SiC: medición a nivel sub nano en una amplia gama de aumentos

Tipo: sistema BW-D501
Sujeto: oblea de carburo de silicio (SiC)

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 2 5x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 5x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 10x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 20x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 50x BW Series

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Silicon Carbide SiC Wafer 100x BW Series


Medición nanométrica de rasuradora con lente de alto aumento

Sujeto: rasuradora

es pic1 Industrial microscopes 584 Serie BW


Rugosidad de la superficie del papel (sintético, liso, brillante, mate)

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of synthetic paper BW SeriesRugosidad de la superficie del papel sintético
nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of gloss paper BW SeriesRugosidad de la superficie del papel brillante
nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of plain paper BW SeriesRugosidad de la superficie del papel liso
nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of matte paper BW SeriesRugosidad de la superficie del papel mate
 


Rugosidad de la superficie de la cerámica

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Surface roughness of ceramics BW Series


Mediciones precisas de superficie irregulares micrométricas

Tipo: sistema BW-A501
Sujeto: membrana de diamante sintetizado con deposición de vapor químico de plasma en estado líquido
Fotos cortesía de: Ph.D. Hiromichi Toyota, Ehime University Graduate School of Science and Engineering

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Precise surface measurement BW Series

 


Paquete de circuitos integrados: medición micrométrica en una amplia gama de aumentos

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope IC Package Micrometer range measurement in a wide range of magnifications BW Series


Calibración de altura con la norma VLSI con certificación NIST

nikon metrology industrial microscopes white light interferometric microscope Certificate of calibration BW Series


Sistema BW-D501

es pic2b Industrial microscopes 584 Serie BW

 
Especificaciones

 

Modelo de alta resolución en píxeles

BW-S501

BW-S502

BW-S503

BW-S505

BW-S506

BW-S507

Sistema óptico de medición

Variación de enfoque con interferometría de luz blanca (FVWLI)

Resolución de altura (algoritmo)

1pm (0,001 nm)

Capacidad de reproducción de medición de altura en pasos

σ: medición de altura en pasos de 8nm/8m

Número de píxeles

2046 x 2046, 1022 x 1022 (seleccionable por software)

Tiempo de medición de altura

38 s, 16 s / 10 μm de escaneo

Rango de medición de altura

< 90 μm

< 20 mm

< 90 μm

< 20 mm

Tamaño del campo de medición (con 2.5 aumentos)

< 4448 x 4448 μm*

Accionador piezoeléctrico

Impulsado por la lente objetivo

Impulsado por el revólver

Eje Z

Manual

Eléctrico

Manual

Eléctrico

Eje XY

Manual

Eléctrico

Manual

Eléctrico

Software

Módulos de software Bridgelements®

 

 

Modelo de alta velocidad

BW-D501

BW-D502

BW-D503

BW-D505

BW-D506

BW-D507

Sistema óptico de medición

Variación de enfoque con interferometría de luz blanca (FVWLI)

Resolución de altura (algoritmo)

1 pm (0,001 nm)

Capacidad de reproducción de medición de altura en pasos

Medición de altura en pasos de σ8nm/8m

Número de píxeles

510x510

Tiempo de medición de altura

4 s / 10 μm de escaneo

Rango de medición de altura

< 90 μm

< 20 mm

< 90 μm

< 20 mm

Tamaño del campo de medición

< 2015 x 2015 μm *

Accionador piezoeléctrico

Impulsado por la lente objetivo

Impulsado por el revólver

Eje Z

Manual

Eléctrico

Manual

Eléctrico

Eje XY

Manual

Eléctrico

Manual

Eléctrico

Software

Módulos de software Bridgelements®


* El rango puede prolongarse mediante cambio de la lente de transmisión o unión.

 
Folletos
Industrial Instruments General Catalogue
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en de es

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BW-Series
BW-Series

en fr de

 
Estudios de casos
Surface measurements with picometer resolution
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BW-S and BW-D series White light interferometric microscope systems.

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Aplicaciones industriales
 

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