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NWL200: el más nuevo y sofisticado cargador de obleas de Nikon para microscopios de inspección de circuitos integrados.

nikon metrology industrial microscopes upright NWL200La serie NWL200 es la primera línea de cargadores de obleas para microscopios de inspección con capacidad para cargar obleas de 100 micrones. Gracias al nuevo sistema de sujeción, la serie NWL200 logra una carga de alta confiabilidad, apta para inspección de semiconductores de última generación. Las funciones mejoradas de detección de obleas también evitan que las obleas se dañen.

Aplicaciones

  • Obleas
 
Ventajas y características
 

Herramienta de acceso remoto

El cargador está equipado con función de servidor web. Cuando el cargador se conecta a LAN, puede crear fórmulas de inspección en PC y respaldar datos fácilmente desde el cargador.

  1. Funciones de respaldo para preparar fórmulas
    Un asistente web orienta los pasos reflejados en el NWL200. Esto permite preparar fórmulas óptimas con seguridad y facilidad, mientras se verifica el estado de las obleas.
  2. Mantenimiento del equipo
    Respalde y restaure fórmulas de inspección con facilidad.

Medidas anticontaminación

Para evitar que se produzca polvo por fricción o impacto al centrar las obleas, se centran y alinean las muescas y los planos de orientación sin contacto, con sensores fotoeléctricos. El sistema está configurado para no interrumpir el flujo descendente de aire limpio en la sala limpia; además se han tomado medidas para evitar el surgimiento de partículas en la superficie de succión de la oblea. Además la cubierta es de acero inoxidable para evitar acumulación de electricidad estática y polvo. Se han tomado todas las medidas para asegurar que el actual proceso de producción altamente integrado de semiconductores esté protegido de la contaminación durante la inspección.


Alta confiabilidad

En caso de algún error, aparece un mensaje en el panel LCD. Incluso cuando se desconecta la alimentación, el soporte de vacío del mecanismo de inspección macro se mantiene conectado. Si hay algún problema, las obleas en el cargador pueden devolverse al portador sin utilizar pinzas.


Funciones de inspección macro

Además de inspección macro de patrón en todas las áreas, se admite inspección macro periférica y central de la parte trasera como estándar. Los parámetros de inspección macro como el ángulo de inclinación y la velocidad de rotación de la oblea pueden configurarse automática o manualmente. Utilice las perillas de configuración macro para preconfigurar los ajustes iniciales y haga ajustes adicionales con el mando. Además, el nuevo sistema de iluminación WIL-LED permite iluminar un área más amplia de manera más uniforme. Hay diversos sistemas de iluminación disponibles, desde iluminación estrecha hasta área amplia uniforme.

nikon metrology industrial microscopes upright pattern side macro inspection NWL200Inspección macro de patrón             (coniluminador WIL-LED)

 nikon metrology industrial microscopes upright back side center macro inspection NWL200Inspección macro central de la parte trasera(con iluminador de fibra óptica)nikon metrology industrial microscopes upright back side periphery macro inspection NWL200Inspección macro periférica de la parte trasera(con iluminador de fibra óptica)


Funciones orientadas a maximizar el rendimiento

nikon metrology industrial microscopes upright features geared for maximum throughput NWL200El elevador, además de ser sorprendentemente rápido, tiene un mecanismo de centrado sin contacto que permite alinear rápidamente y con precisión. El sistema de brazo múltiple permite cargar y descargar obleas con total precisión, lo cual aumenta la eficiencia general de la transferencia y el intercambio de obleas. Esto reduce notablemente los tiempos de ciclo, para alcanzar niveles de rendimiento nunca antes vistos en algún otro sistema.


Botones de ranura de oblea

nikon metrology industrial microscopes upright wafer slot buttons NWL200Los nuevos botones de ranura de oblea en el panel delantero permiten que los usuarios seleccionen cualquier oblea en su ranura, con un solo botón. Además, el gran y prominente panel LCD permite que los usuarios configuren condiciones como el patrón de toma de muestras e inspección y verifiquen el estado de operación y el contenido de los errores de un vistazo. Las pantallas están dispuestas en una estructura jerárquica, con una pantalla para cada tarea, lo que genera un formato de diálogo intuitivo para avanzar sin problemas por los distintos pasos. Un conjunto completo de funciones de administración de archivos para portadores, muestras, etc. es útil para automatizar la inspección.


El diseño modificado ofrece ergonomía mejorada

nikon metrology industrial microscopes upright improved ergonomics NWL200Para asegurar la operación en una postura natural, cada aspecto del sistema incorpora eficiencia ergonómica. Las teclas y perillas de operación son de fácil alcance para el operador, de modo que la operación requiere movimiento mínimo de la mano o el ojo. Los portadores de obleas se ubican al frente y 35° a la izquierda del operador, por eso es fácil cargarlos y revisar las obleas visualmente dentro de los portadores.


El nuevo sistema de sujeción admite obleas de 100µm

Las obleas son cada vez más delgadas gracias a los avances de los procesos de fabricación, por eso es necesario colocar las obleas muy finas manualmente en el microscopio para inspeccionar en la etapa posterior al procesamiento. Con el nuevo sistema de sujeción de Nikon, la serie NWL200 puede cargar obleas ultra delgadas, hasta de 100µm. Este alto nivel de seguridad y confiabilidad satisface todos los requisitos de inspección de las últimas obleas.


Funciones mejoradas de detección de obleas

Ya que las obleas delgadas pueden sufrir distorsión significativa en el portador, el brazo puede dañarlas si los sensores de posición no son precisos. En el pasado era difícil que los sensores leyeran la distorsión de las obleas con exactitud, pero con la disposición optimizada de los haces de los sensores de oblea la serie NWL200 puede detectar con precisión la forma de obleas delgadas en el casete.

 
Especificaciones
Tamaño de oblea compatible: Diámetro 200 mm / 150 mm*
Tamaño de oblea compatible: Grosor (estándar) 300µm
Tamaño de oblea compatible: Grosor (opción de oblea delgada) 300~100µm
Portador compatible Portador de oblea SEMI 25 (26)**
Centrado Sensores fotoeléctricos sin contacto
Detección de muesca/plano de orientación Sensores fotoeléctricos sin contacto
Sección de operación/visualización Botones de ranura de oblea e interfaz LCD interactiva
Dimensiones externas (ancho x fondo x altura) 535 mm x 626 mm x 350 mm
Peso 50kg
Normas de seguridad Seguridad eléctrica: marca CE compatible
SEMI: S2-0706, S8-0307, F47 compatible
Seguridad del láser: FDA clase 1
Conexión eléctrica Alimentación eléctrica: AC 100240 V, 50/60 Hz,
1.5 A0.7 A
Vacío: -80kPa
Diámetro del tubo de conexión: Ø 6 mm

* Para obleas de Ø125 mm y las que no sean de silicio, comuníquese con el distribuidor Nikon más cercano.
** Para otros portadores, comuníquese con el representante de Nikon más cercano. 

 
Folletos
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Aplicaciones industriales
 

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