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NEXIV VMZ-K6555: revolucionario sistema de medición por video confocal multifuncional

nikon metrology vision systems VMZ K6555El Nikon Confocal NEXIV VMZ-K6555 fue desarrollado gracias a la solidez de Nikon en tecnologías optomecatrónicas (ópticas, mecánicas y electrónicas). Incorpora una variedad de óptica confocal para evaluación rápida y precisa de metrología de superficie tridimensional, tecnología de procesamiento de imágenes y autoenfoque láser TTL. Permite mediciones de altura y 2D en el mismo campo de visión.

El Confocal NEXIV VMZ-K6555 se utiliza para inspección y medición de dimensiones críticas de estructuras de alta complejidad en dispositivos de semiconductores avanzados, tarjetas de prueba, patrones de sustrato en placas de circuito, MEMS y diversas otras aplicaciones exigentes.

 

Principales ventajas

  • Medición de altura de área amplia simultánea con óptica confocal Nikon patentada
  • Medición en 2D con óptica de zoom de campo claro de 15 aumentos
  • Plenamente compatible con medición de obleas de 300 mm en fabricación de semiconductores
  • Se adapta a los tamaños de las placas de circuito impreso con su recorrido de 650 x 550mm

Aplicaciones

  • Paquetes de circuitos integrados: chip invertido/COF (bolas)/COG, CSP (FBGA)/SIP (bolas, cables), intercalador (altura de matriz)
  • MEMS
  • Tarjeta de prueba (silicio, Au)
  • Componentes de cristal precisos (lente micro, lente de contacto)
  • Ancho/altura de espaciador para filtro de color en pantalla plana
 
Ventajas y características
 

Ejemplos de medición

nikon metrology vision systems bright field VMZ K6555Campo claro  nikon metrology vision systems confocal image VMZ K6555Imagen confocal  nikon metrology vision systems 3d cf image VMZ K6555Imagen 3D CF 
 nikon metrology vision systems edf image VMZ K6555Imagen EDF  nikon metrology vision systems csp bump height and size VMZ K6555CSP: tamaño y altura de bolas  nikon metrology vision systems bonding wire loop height VMZ K6555Altura de bucle de hilo de unión

Lentes objetivo confocales

Lentes objetivo confocales Tipo-S: 1.5 aumentos - D.T. 35mm, 3 aumentos - D.T. 24mm, 7.5 aumentos -  D.T. 5mm
Lentes objetivo confocales Tipo-H: 15 aumentos - D.T. 20mm, 30 aumentos - D.T. 5mm

 
Especificaciones
Lente objetivo
Aumento 3 aumentos 7.5 aumentos 15 aumentos 30 aumentos
D.T. 24mm 5mm 20mm 5mm
Óptica confocal (medición de altura de área)
Campo de visión 4 x 3mm 1.6 x 1.2mm 0.8 x 0.6mm 0.4 x 0.3mm
Repetibilidad de medición de altura (2σ) 0.35µm 0.25µm 0.25µm 0.20µm
Resolución de medición de altura 0.01µm      
Óptica de campo claro (medición en 2D)
Método de zoom Zoom motorizado en 5 pasos
Campo de visión 4 x 3mm to 0.27 x 0.2mm 1.6 x 1.2mm to 0.11 x 0.08mm 1.26 x 0.95mm to 0.1 x 0.074mm 0.63 x 0.47mm to 0.05 x 0.04mm
Iluminación Iluminador LED diascópico y episcópico para todos los tipos, luz de anillo LED blanca para tipo 3 y 7.5 aumentos
Autoenfoque Autoenfoque de visión y láser TTL (modo de escaneo disponible)
Cuerpo principal
Recorrido (X, Y, Z) 300 x 400 x 150mm
Capacidad de carga garantizada 30kg
Error máximo permisible MPEE1X 1.5 + 2.5L/1000µm
Error máximo permisible MPEE1Y 2.5 + 2.5L/1000µm
Error máximo permisible en el eje Z MPEE1Z 1 + L/1000µm
Peso de la unidad principal 830kg
Fuente de alimentación/consumo AC 100 a 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A a 6.5A
Condiciones de funcionamiento Temperatura: 20°C ± 0.5K, Humedad: 70% o menos
Estándar adquirido Marca CE (bajo voltaje/EMC/láser)
Tamaño 2500 x 1900mm
 
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