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NEXIV VMZ-K3040: revolucionario sistema de medición por video confocal multifuncional

nikon metrology vision systems confocal VMZ K3040Incorpora tecnología confocal, campo claro con zoom de 15 aumentos y autoenfoque láser TTL. Independientemente de las mediciones geométricas que necesite –bidimensionales o tridimensionales–, la inspección y evaluación es extremadamente rápida y precisa con este sistema.
El Confocal NEXIV puede utilizarse de manera óptima para mediciones de diversas alturas de bolas en paquetes de circuitos integrados avanzados como paquetes a escala chip a nivel de oblea, además de inspección de estructuras de alta complejidad como sistemas microelectromecánicos y tarjetas de prueba.

Principales ventajas

  • Medición de altura de área amplia simultánea con óptica confocal Nikon patentada
  • Medición en 2D con óptica de zoom de campo claro de 15 aumentos
  • Plenamente compatible con medición de obleas de 300 mm en fabricación de semiconductores
  • Modelo general para una amplia gama de necesidades

Aplicaciones

  • Paquetes de circuitos integrados: chip invertido/COF (bolas)/COG, CSP (FBGA)/SIP (bolas, cables), intercalador (altura de matriz)
  • MEMS
  • Tarjeta de prueba (silicio, Au)
  • Componentes de cristal precisos (lente micro, lente de contacto)
  • Ancho/altura de espaciador para filtro de color en pantalla plana
 
Ventajas y características
 

Ejemplos de medición

nikon metrology vision systems bright field VMZ K6555Campo claro  nikon metrology vision systems confocal image VMZ K6555Imagen confocal  nikon metrology vision systems 3d cf image VMZ K6555Imagen 3D CF 
 nikon metrology vision systems edf image VMZ K6555Imagen EDF  nikon metrology vision systems csp bump height and size VMZ K6555CSP: tamaño y altura de bolas  nikon metrology vision systems bonding wire loop height VMZ K6555Altura de bucle de hilo de unión

Lentes objetivo confocales

Lentes objetivo confocales tipo S: 1.5 aumentos - D.T. 35mm, 3 aumentos - D.T. 24 mm, 7.5 aumentos - D.T. 5mm
Lentes objetivo confocales tipo H: 15 aumentos - D.T. 20mm, 30 aumentos - D.T. 5mm

 
Especificaciones
Lente objetivo
Aumento 3 aumentos 7.5 aumentos 15 aumentos 30 aumentos
D.T. 24mm 5mm 20mm 5mm
Óptica confocal (medición de altura de área)
Campo de visión 4 x 3mm 1.6 x 1.2mm 0.8 x 0.6mm 0.4 x 0.3mm
Repetibilidad de medición de altura (2σ) 0.35µm 0.25µm 0.25µm 0.20µm
Resolución de medición de altura 0.01µm      
Óptica de campo claro (medición en 2D)
Método de zoom Zoom motorizado en 5 pasos
Campo de visión 4 x 3mm a 0.27 x 0.2mm 1.6 x 1.2mm a 0.11 x 0.08mm 1.26 x 0.95mm a 0.1 x 0.074mm 0.63 x 0.47mm a 0.05 x 0.04mm
Iluminación Iluminador LED diascópico y episcópico para todos los tipos, luz de anillo LED blanca para tipo 3 y 7.5 aumentos
Autoenfoque Autoenfoque de visión y láser TTL (modo de escaneo disponible)
Cuerpo principal
Recorrido (X, Y, Z) 300 x 400 x 150mm
Capacidad de carga garantizada 20kg
Error máximo permisible MPEE1X 1.5 + 2.5L/1000µm
Error máximo permisible MPEE1Y 2.5 + 2.5L/1000µm
Error máximo permisible en el eje Z MPEE1Z 1 + L/1000µm
Peso de la unidad principal 850kg
Fuente de alimentación/consumo AC 100 a 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A a 6.5A
Condiciones de funcionamiento Temperatura: 20°C ± 0.5K, Humedad: 70% o menos
Estándar adquirido Marca CE (bajo voltaje/EMC/láser)
Tamaño 2500 x 1600mm
 
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