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NEXIV VMR-C4540: sistema de medición por video CNC

nikon metrology semiconductor inspection VMR C4540Ofrece todas las mediciones dimensionales necesarias para fabricación de portadores de obleas, como control de deformación por envejecimiento de los portadores.

El NEXIV VMR-C4540 -diseñado para utilizarse con portadores de obleas de 300mm Front Opening Unified Pod (FOUP) y Front Opening Shipping Box (FOSB)- detecta bordes difíciles de ver con diversas funciones de iluminación, además de las exclusivas tecnologías de procesamiento de imágenes de Nikon. La incorporación de autoenfoque láser permite el enfoque rápido sin contacto incluso en superficies transparentes y el borde de las periferias de la oblea; el VMR-C4540 puede medir dimensiones según la norma SEMI con excelente precisión.

Aplicaciones:

  • Componentes del tren de fuerza
  • Telecomunicaciones y electrónica
  • Obleas
  • Medición automática
  • Óptica de telescopios
  • Antenas
  • Teléfonos móviles, afeitadoras y relojes
 
Especificaciones
Portadores compatibles
(FOUP, FOSB, OC)
Portadores de obleas de ø300mm que cumplen con SEMI
Portadores de obleas de 200mm (con adaptador dedicado)
Recorrido del cabezal (X x Y x Z) 480 x 180 x 400 mm (18.9 x 7.1 x 15.7 pulg.)
Recorrido de la mesa giratoria 360° (en incrementos de 90°)
Lectura mínima 0.1µm
Velocidad de desplazamiento del cabezal Eje XZ: máx. 200mm/s (7.9 pulg.)
Eje Y: máx. 50mm/s (2.0 pulg.)
Velocidad de rotación de la placa cinemática 90°/2 seg.
Cámara Blanco y negro 1/2 pulg. CCD
Aumento óptico 0.27 a 2.74 aumentos (zoom de 10 aumentos en 5 pasos)
Campo de visión 20 x 16 mm a 2.0 x 1.6 mm
Peso máx. de la pieza de trabajo 15kg (33.1 lb.)
Precisión de medición (10 + 10L/1000)µm, L = longitud de medición en mm
Repetibilidad (2σ) 2µm
Iluminación Episcópica, diascópica, campo oscuro
Autoenfoque Láser, de visión
Fuente de alimentación AC100-240V±10%, 50/60Hz
Consumo de energía (aprox.) AC100-120V: 13A (unidad principal), 9A (PC)
AC200-240V: 7A (unidad principal), 5A (PC)
Dimensiones 1400 (ancho) x 1739 (fondo) x 2530 (alto) mm (55.1 x 68.5 x 99.6 pulg.)
Peso Aprox. 1400kg (3086.41 lb.)
Computadora anfitrión Windows® 7 PC
Monitor 19 pulg. TFT
 
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