Sistemas de microscopio de inspección de obleas y máscaras de 200 mm para identificación de defectos con luz reflejada. 

Sistemas de microscopio de inspección de obleas y máscaras de 300 mm para identificación de defectos con luz reflejada.

Avanzado cargador de obleas para inspección de circuitos integrados, con capacidad para cargar obleas de 100µm.