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MEMS

nikon metrology industry electronic memsEn los productos electrónicos cada vez más miniaturizados de la actualidad, los sistemas microelectromecánicos (MEMS) y nanoelectromecánicos (NEMS) fijan el estándar de lo que puede lograrse con métodos de ingeniería modernos. Aunque estos dispositivos generalmente se producen con técnicas análogas a las de la industria de semiconductores (como fotolitografía y diversos procesos de deposición), los fabricantes deben estar completamente al tanto de las variancias causadas por la elevada relación de superficie a volumen de estos dispositivos. A estas escalas, las reglas normales de diseño y producción comienzan a desdibujarse, porque los efectos como la electrostática y humidificación de la superficie se vuelven prevalentes.

Las aplicaciones y áreas de investigación de los sistemas MEMS van de lo exótico a lo cotidiano, pero su uso más común es en una serie de tecnologías 'inteligentes’ como:

  • manómetros de combustible y sensores de flujo de aire
  • sensores de frenos
  • acelerómetros para mejorar la implementación de bolsas de aire
  • accionadores y ménsulas
  • micro boquillas para pulverización directa en impresoras de inyección de tinta
  • giroscopios de navegación
  • microrobótica
  • 'polvo inteligente' para detectar cambios del entorno

A pesar de tener aplicaciones notablemente distintas, todas estas tecnologías comparten métodos de fabricación y procesos de control de calidad que exigen, por ejemplo, microscopía óptica de alta resolución con microscopios estereoscópicos para inspeccionar errores y residuos; mientras los sistemas de microscopios para semiconductores, industriales y de luz reflejada motorizados pueden utilizarse en diversas técnicas analíticas generales como campo oscuro, DIC; polarización, epifluorescencia e interferometría con doble haz.

Más recientemente, también se han aplicado sistemas de medición por video al análisis de control de calidad en sistemas MEMS porque ofrecen precisión excepcionalmente alta y pueden personalizarse con facilidad según los requisitos de visualización de una amplia gama de aplicaciones.

 

 
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