Mitteilung ausblenden

Cookies auf der Nikon Metrology Website
Wir verwenden Cookies, um Ihren Besuch auf unserer Website besonders nutzerfreundlich zu gestalten.
Mit dem weiteren Besuch dieser Website erteilen Sie die Erlaubnis zum Empfang aller Cookies der Nikon Metrology Website.
Erfahren Sie mehr über unsere Cookie-Richtlinie

Nikon Metrology NV | Europe
Standort ändern
Willkommen bei Nikon Metrology, bitte wählen Sie Ihre bevorzugte Region und Sprache aus.
 
 
 
Informationsanfrage
 
 

NWL200 - Nikons neuester und fortschrittlichster Waferloader für Prüfmikroskope (IC).

nikon metrology industrial microscopes upright NWL200Die NWL200-Reihe bietet die ersten Waferloadern für Prüfmikroskope, die 100 Mikrometer dünne Wafer aufnehmen können. Mit einem neuen Einspannsystem können die Geräte der NWL200-Reihe zuverlässige Ladevorgänge ausführen und eignen sich für die Inspektion von Halbleitern der nächsten Generation. Verbesserte Funktionen für die Wafer-Erkennung vermeiden Schäden an den Halbleiterscheiben.

Anwendungen

  • Wafer
 
Vorteile und Merkmale
 

Tool für den Fernzugriff

Der Waferloader ist mit einer Webserver-Funktion ausgestattet. Wird der Waferloader an ein lokales Netzwerk (LAN) angeschlossen, kann der Benutzer auf einem PC Inspektionsvorlagen erstellen und die Daten des Waferloaders problemlos sichern.

  1. Hilfsfunktionen für die Erstellung von Vorlagen
    Ein Webbrowser-Assistent führt Sie durch die verschiedenen Schritte des NWL200. Sicher und einfach erstellen Sie optimale Vorlagen und überprüfen gleichzeitig den Waferstatus.
  2. Gerätewartung
    Einfaches Sichern und Wiederherstellen von Inspektionsvorlagen.


Kontaminationsfreies System

Um zu verhindern, dass durch Reibung oder Aufprall bei der Wafer-Zentrierung Staub verursacht wird, erfolgt die Zentrierung und Ausrichtung von Laufrichtungsmarkierungen und Kerben berührungslos anhand optischer Sensoren. Das System ist so konfiguriert, dass die Zufuhr sauberer Luft im Reinraum nicht unterbrochen wird. Desgleichen werden Maßnahmen ergriffen, die verhindern sollen, dass sich auf der Sogseite der Wafer Partikel bilden. Zudem ist die Abdeckung aus Edelstahl gefertigt, um elektrostatische Aufladungen und Staub zu vermeiden. Es wurde alles getan, um den zunehmend integrierten Halbleiterfertigungsprozess während der Inspektion vor Verunreinigungen zu schützen.


Hohe Zuverlässigkeit

Bei Auftreten eines Fehlers erscheint auf dem LCD-Display eine Fehlermeldung. Auch wenn der Strom ausgeschaltet wurde, bleibt die Unterdruckspannvorrichtung des Mechanismus für die makroskopische Prüfung aktiv. Bei Problemen können die auf dem Waferloader befindlichen Halbleiterscheiben ohne Pinzetten an den Waferträger zurückgegeben werden.


Umfassende Funktionen für die makroskopische Prüfung

Neben der makroskopischen Prüfung der Musterseiten aller Bereiche ist standardmäßig ebenfalls die Inspektion der Rückseitenumrisse und der Rückseitenmitte möglich. Die Parameter für die makroskopische Prüfung, wie die Drehgeschwindigkeit der Wafer und der Neigungswinkel, können automatisch oder manuell eingestellt werden. Mit den Einstellreglern können Sie die ursprünglichen Einstellungen wiederherstellen oder per Joystick weitere Anpassungen vornehmen. Darüber hinaus ermöglicht das WIL-LED-Beleuchtungssystem die gleichmäßigere Ausleuchtung großer Flächen. Zahlreiche Beleuchtungssysteme, von der Punktbeleuchtung bis hin zur gleichmäßigen Weitfeldausleuchtung.

nikon metrology industrial microscopes upright pattern side macro inspection NWL200Makroskopische Untersuchung einer Waferstruktur
(unter Verwendung einer WIL-LED Beleuchtung)

 nikon metrology industrial microscopes upright back side center macro inspection NWL200Makroskopische Untersuchung eines rückseitigen Zentrierarms
(unter Verwendung einer faseroptischen Beleuchtung)

nikon metrology industrial microscopes upright back side periphery macro inspection NWL200Makroskopische Untersuchung rückseitiger Peripherie (unter Verwendung einer faseroptischen Beleuchtung)


Optimale Funktionen für maximalen Durchsatz

nikon metrology industrial microscopes upright features geared for maximum throughput NWL200Der Waferlift arbeitet erstaunlich schnell, und der berührungslose Zentrierungsmechanismus ermöglicht schnelles, präzises Ausrichten. Das mehrarmige System sorgt für präzises Be- und Entladen und erhöht die Effizienz des Wafer-Transports und -Austauschs. Dies führt zu erheblich reduzierten Taktzeiten und bislang unerreichten Durchsatzmengen.


Tasten für Wafer-Slots

nikon metrology industrial microscopes upright wafer slot buttons NWL200Mit den neuen Tasten auf der Vorderseite kann der Bediener einen beliebigen Wafer mit einem einzigen Tastendruck auswählen. Darüber hinaus kann er auf dem großen, hochwertigen LCD-Bildschirm Betriebsbedingungen, wie Abtast- und Inspektionsmuster, festlegen, und den Betriebsstatus sowie Fehlermeldungen auf einen Blick überprüfen. Die Bildschirme sind hierarchisch aufgebaut, wobei für jede Aufgabe ein Bildschirm vorgesehen ist. So entsteht ein intuitives Dialogformat, das den reibungslosen Ablauf der Arbeitsschritte ermöglicht. Eine umfassende Suite bestehend aus Dateiverwaltungsfunktionen für Träger, Proben usw. ist von erheblichem Vorteil für die Automatisierung der Inspektion.


Optimiertes Design und verbesserte Ergonomie

nikon metrology industrial microscopes upright improved ergonomics NWL200Um eine natürliche Arbeitshaltung zu ermöglichen, wurde bei allen Systemkomponenten die ergonomische Effizienz bedacht. Bedientasten und -knöpfe befinden sich in bequemer Reichweite des Bedieners, sodass der Betrieb nur minimale Hand- oder Augenbewegungen erfordert. Die Waferträger sind an der Vorderseite im Winkel von 35° links vom Bediener angebracht. So können die Lastenträger und die Wafer im Gerät leicht überwacht werden.


Neues Einspannsystem für 100µm-Wafer

Fortschritte im Herstellungsprozess führen zu immer dünneren Wafern, sodass im Nachbearbeitungsprozess sehr dünne Wafer zu Inspektionszwecken per Hand auf dem Mikroskop angeordnet werden müssen. Mit dem neuen Einspannsystem von Nikon können die Geräte der NWL200-Reihe ultradünne Wafer mit einer Breite von nur 100µm aufnehmen. Das hohe Maß an Sicherheit und Zuverlässigkeit erfüllt sämtliche Anforderungen moderner Wafer.


Verbesserte Funktionen für die Wafer-Erkennung

Dünne Wafer können im Waferträger erheblich verformt werden. Daher kann der Roboterarm Schäden an den Wafern verursachen, wenn die Positionssensoren nicht präzise arbeiten. In der Vergangenheit war es schwierig, Verformungen an Wafern mit Sensoren präzise zu erfassen. Durch die verbesserte Anordnung der Sensorstrahlen in der NWL200-Reihe wird die Ausformung dünner Wafer in der Kassette jetzt präzise erkannt.

 
Technische Daten
Kompatible Wafer-Größe: Durchmesser 200mm / 150mm 1
Kompatible Wafer-Größe: Breite (Standard) 300µm
Kompatible Wafer-Größe: Breite (dünne Wafer) 300~100µm
Kompatible Waferträger Waferträger2 gemäß SEMI 25 (26)
Zentrierung Berührungslos anhand optischer Sensoren
Erkennung von Laufrichtungsmarkierungen und Kerben Berührungslos anhand optischer Sensoren
Bedienung/Anzeige Tasten für Wafer-Slots und interaktive LCD-Bedienoberfläche
Außenmaße (BxTxH) 535 x 626 x 350
Gewicht 50kg
Sicherheitsnormen Elektrische Sicherheit: CE-Konformität
SEMI: gemäß S2-0706, S8-0307, F47
Lasersicherheit: FDA Klasse 1
Energieversorgung Stromversorgung: AC 100240 V, 50/60 Hz, 1,5 A0.7 A
Vakuum: -80kPa
Durchmesser des Verbindungsrohrs: Ø 6mm

1  Bei Wafern mit einem Durchmesser von 125mm und bei nicht aus Silizium bestehenden Wafern wenden Sie sich bitte an Ihren Nikon-Händler.
2 Informationen zu weiteren Waferträgern erhalten Sie von Ihrer zuständigen Nikon-Vertretung.

 
Prospekte
NWL200
NWL200

en

 
Industrielle Anwendungen
 

Prospekte

NWL200
NWL200

en