Nikon Metrology NV | Europe
Standort ändern
Willkommen bei Nikon Metrology, bitte wählen Sie Ihre bevorzugte Region und Sprache aus.
 
 
 
Informationsanfrage
 
 

NEXIV VMZ-R6555 - Schneller und präziser als je zuvor

nikon metrology vision systems NEXIV VMZ R6555Für jede Probe individuell einstellbare Vergrößerung, Autofokussierung (AF) und Beleuchtung.

Die VMZ-R6555 bietet einen Messweg von 650 x 550 mm und eignet sich für die Prüfung großer Komponenten und „Step-and-Repeat“-Messung

Vorteile

  • 6 Varianten optischer Zoomköpfe
  • Erkennung transparenter 0,1 mm dicker Schichten
  • 8-segmentige LED-Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln
  • Hohe Messgenauigkeit
  • Höherer Messdurchsatz
  • Extrem schneller 15x Zoom

Anwendungen

  • Oberflächenanalyse, Oberflächenprüfung
  • Kunststoff- und Metallfertigung
  • Bruch- und Fehleranalysen
  • Mikroelektronik, Optoelektronik
  • Telekommunikation und Elektronik, Antennen, Teleskopoptiken
 
Vorteile und Merkmale
 

nikon metrology vision systems standard magnification zooming heads NEXIV VMZ R6555Zoomköpfe mit Standardvergrößerung: Varianten 1, 2 und 3

Die Varianten 1, 2 und 3 verfügen über eine 15-stufige Nikon Zoomoptik mit großem Arbeitsabstand, weitem Sichtfeld und einem hohen numerischen Aperturwert von 0,35. Sie sind mit einer Auflicht- und Durchlichtbeleuchtung sowie einer 8-segmentigen Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln ausgestattet. Alle arbeiten mit LED-Licht.


nikon metrology vision systems high magnification zooming heads NEXIV VMZ R6555Hochauflösende Zoomköpfe: Varianten 4 und TZ

Die Varianten 4 und TZ verfügen über hochauflösende 15x und 120x Nikon Zoomoptiken und einen höheren numerischen Aperturwert von 0,46. Variante 4 ist mit einer Auflicht-. und Durchlichtbeleuchtung sowie einer 8-segmentigen Ringbeleuchtung mit einem 50° Neigungswinkel ausgestattet. Alle arbeiten mit LED-Licht. Variante TZ verfügt über eine LED-Beleuchtung für die Auflicht-, Durchlicht- und Dunkelfeldmikroskopie.


nikon metrology vision systems wide fov zooming head NEXIV VMZ R6555Zoomkopf mit weitem Sichtfeld: Variante A

Variante A zeichnet sich durch eine 10-stufige Nikon Zoomoptik mit dem weitestem Sichtfeld, längsten Arbeitsabstand und höchsten Auflösungsvermögen (NA 0,11) aus. Sie verfügt über eine Auflicht- und Durchlichtbeleuchtung sowie eine 8-segmentige Ringbeleuchtung mit einem 18° Neigungswinkel. Alle arbeiten mit LED-Licht.


Vergrößerung vs. Sichtfeldgröße (mm)

Zoomköpfe mit Standardvergrößerung
Variante 1
Optische Vergrößerung Gesamtvergrößerung Sichtfeldgröße (mm) 0,5× 18× 9,33×7,01 1× 36×
4,7×3,5
2× 72× 2,33×1,75 4× 144× 1,165×0,875 7,5× 270× 0,622×0,467
Variante Type 2
Optische Vergrößerung Gesamtvergrößerung Sichtfeldgröße (mm) 1× 36× 4,7×3,5 2× 72× 2,33×1,75 4× 144× 1,165×0,875 8× 288× 0,582×0,437 15× 540× 0,311×0,233
Variante Type 3
Optische Vergrößerung Gesamtvergrößerung Sichtfeldgröße (mm) 2× 72× 2,33×1,75 4× 144× 1,165×0,875 8× 288× 0,582×0,437 16× 576× 0,291×0,218 30× 1080× 0,155×0,117

 

High magnification zooming heads
Variante Type 4
Optische Vergrößerung Gesamtvergrößerung Sichtfeldgröße (mm) 4× 144× 1,165×0,875 8× 288× 0,582×0,437 16× 576× 0,291×0,218 32× 1152× 0,146×0,109 60× 2160× 0,07×0,068
Variante Type TZ
Optische Vergrößerung Gesamtvergrößerung Sichtfeldgröße (mm) 1× 36×
4,7×3,5
2× 72× 2,33×1,75 4× 144× 1,165×0,875 7,5× 270× 0,622×0,467 16× 576× 0,291×0,218
32× 1152× 0,146×0,109 64× 2304× 0,073×0,055 120× 4320× 0,039×0,029    

 

Wide field-of-view zooming head
Variante Type A
Optische Vergrößerung Gesamtvergrößerung Sichtfeldgröße (mm) 0,35× 12,6× 13,3×10 0,6× 21,6× 7,8×5,8 1× 36×
4,7×3,5
1,8× 64,8× 2,6×1,9 3,5× 126× 1,33×1

 * Obige Angaben zur Gesamtvergrößerung beziehen sich auf die Anzeige in einem 640 x 480 Pixel Videofenster auf einem 24" Bildschirm (empfohlen für die VMZ-R Serie) nach WUXGA Standard (1920 × 1200 Pixel)


Erkennung transparenter 0,1 mm dicker Schichten

Der neue TTL Laser AF, der für die Erkennung dünner, transparenter Materialien entwickelt wurde, ist genauso schnell und präzise wie der Laser AF der VMR Serie.

nikon metrology vision systems focus on top surface in red NEXIV VMZ R6555Darstellung des Brennflecks auf der Oberseite in Rotnikon metrology vision systems focus on bottom surface in blue NEXIV VMZ R6555Darstellung des Brennflecks auf der Unterseite in Blau  nikon metrology vision systems new ttl laser af NEXIV VMZ R6555Der neue TTL Laser-Autofokus Er kann zwei von zwei unterschiedlichen Flächen reflektierte Laserstrahlen detektieren 


8-segmentige LED-Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln

Die Zoomköpfe mit Standardvergrößerung (Varianten 1, 2 und 3) verfügen über eine 8-segmentige innere und äußere Ringbeleuchtung sowie Auflicht- und Durchlichtbeleuchtung, jeweils in LED-Ausführung. Die Neigungswinkel von 37, 55 und 75 Grad können aus acht verschiedenen Richtungen und Richtungskombinationen und mit jeder gewünschten Lichtstärke verwendet werden.

nikon metrology vision systems 8 segment ring illumination NEXIV VMZ R3020

* Der Neigungswinkel für die 8-segmentige Ringbeleuchtung der Variante 4 beträgt 50 Grad und der der Variante A 18 Grad.


nikon metrology vision systems ModuRay NEXIV VMZ R6555

Weitere Optimierung der Messgenauigkeit

Die Messgenauigkeit wird durch das von Nikon entwickelte hochauflösende Wegmesssystem „ModuRay“ weiter verbessert.


Höherer Messdurchsatz

Höhere Datenübertragungsraten und eine schnelle Beleuchtungsregelung sorgen für einen höheren Messdurchsatz.


Extrem schneller 15x Zoom

Der extrem schnelle 5-Stufen Zoom mit 15-fach Zoom-Optik bietet ein weites Sichtfeld bei niedriger Vergrößerung sowie eine überragende Auflösung bei hoher Vergrößerung (Varianten 1 – 4).

nikon metrology vision systems 15x high speed zoom NEXIV VMZ R6555

 

 
Technische Daten
XYZ Messwege Varianten 1, 2, 3 und 4: 650x550x200m
Variante TZ mit Hauptobjektiv: 650x550x200m
Variante TZ mit Hauptobjektiv: 600x550x200m
Variante A: 650x550x200m 
Kleinste Anzeige 0,01 µm
Max. Werkstückgewicht 50 kg
Messunsicherheit EUX,MPE EUY,MPE: 1,2+4L/1000 μm EUXY, MPE: 2+4L/1000 μm
Messunsicherheit in Z EUZ,MPE: 1.2+5L/1000 μm (mit Laser AF)
Kamera Schwarz/Weiß 1/3” CCD, 1/3” FarbCCD (Option)*
*Die optionale Farbkamera ist nur für die Modellvarianten 1, 2 und A erhältlich.
Messabstand

Varianten 1, 2 und 3: 50 mm bei 37 Grad Neigungswinkel, 36 mm bei 55 Grad Neigungswinkel, 10 mm bei 78 Grad Neigungswinkel
Variante 4: 30 mm
Variante TZ: 11 mm mit Hauptobjektiv und 32 mm mit linkem Objektiv
Variante A: 73,5 mm ohne Laser AF, 63 mm mit Laser AF

Vergrößerung und Sichtfeld Variante 1: 0,5 ~ 7,5× / 9,33 × 7 ~ 0,622 × 0,467 mm
Variante 2: 1 ~ 15× /4,67 × 3,5 ~ 0,311 × 0,233mm
Variante 3: 2 ~ 30× /2,33 × 1,75 ~ 0,155 × 0,117mm
Variante 4: 4 ~ 60× /1,165 × 0,875 ~ 0,07 × 0,068mm
Variante TZ: 1 ~ 120× /4,67 × 3,5 ~ 0,039 × 0,029 mm
Variante A: 0,35 ~ 3,5× /13,3 × 10 ~ 1,33 × 1 mm 
Autofokus Varianten 1, 2, 3, 4 und TZ sind mit TTL Laser AF und Image AF ausgestattet.
Variante A ist standardmäßig mit Image AF ausgestattet. Der Laser AF ist als Option erhältlich.
Beleuchtungen Varianten 1, 2 und 3: Auflicht, Durchlicht mit LED-Lichtquelle - 8-segmentige innere und äußere Ringbeleuchtung mit LED-Lichtquelle (37 Grad Neigungswinkel für inneren Ring und 55 und 78 Grad Neigungswinkel für äußeren Ring)
Variante TZ: LED-Auflicht- und LED-Dunkelfeldbeleuchtung für das Haupt- und Hilfsobjektiv - LED-Durchlichtbeleuchtung für das Hauptobjektiv
Variante A: Auflicht und Durchlicht mit LED-Lichtquelle - 8-segmentige Ringbeleuchtung mit 18 Grad Neigungswinkel 
Strombedarf AC 100-240V 50/60Hz
Stromaufnahme 5A-2.5A
Abmessungen & Gewicht Haupteinheit und Messtisch: 1200 × 1640 × 1820 mm/ ca. 665 kg
Standfläche, inkl. PC 2400 x 2000 mm
 
Prospekte
NEXIV VMZ R-Series
NEXIV VMZ R-Series

en fr es

 
Anwender- berichte
NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement
NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement

By investing in a Nikon Nexiv CNC video measuring system, DEK Screens has significantly improved the accuracy and precision of its emulsion screen processes, leading to enhanced quality and reduced wastage.

en

 
NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement
NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement

By investing in a Nikon Nexiv CNC video measuring system, DEK Screens has significantly improved the accuracy and precision of its emulsion screen processes, leading to enhanced quality and reduced wastage.

en

 
 
Industrielle Anwendungen
 

Prospekte

NEXIV VMZ R-Series
NEXIV VMZ R-Series

en fr es

Anwender- berichte

NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement
NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement

en

NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement
NEXIV gives DEK the edge in emulsion screen dimensional deposition measurement

en