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NEXIV VMZ-K6555 - Nikons Konfokales NEXIV System revolutioniert die IC Messtechnik

nikon metrology vision systems VMZ K6555Das konfokale NEXIV VMZ-K6555 Videomesssystem wurde auf Basis der marktführenden Erfahrung von Nikon im Bereich der Opto-Mechatronik (optische, mechanische und elektronische Technologien) entwickelt. Die Standardausstattung umfasst verschiedenste konfokale Optiken für die schnelle und präzise Auswertung detaillierter 3D-Oberflächen, Bildverarbeitungsverfahren und den Laser-Autofokus TT L. In ein und demselben FOV können gleichzeitig 2D- und Höhenmessungen durchgeführt werden.

Das konfokale NEXIV VMZ-K6555 Videomesssystem kommt bei der Prüfung und Messung von kritischen Abmessungen hochkomplexer Strukturen an Halbleiterbauteilen der neusten Technologien, an Sondenkarten, Substraten auf Leiterplatten (Mustermessungen) MEMS und verschiedensten anderen anspruchsvollen Anwendungen zum Einsatz

Vorteile

  • Simultane Weitwinkel-Höhenmessung mit von Nikon entwickelter konfokaler Optik
  • 2D-Messung mit Hellfeld-Zoomoptik in 15-facher Vergrößerung
  • Vollständige Kompatibilität für die Prüfung von 300 mm Wafern in der Halbleiterfertigung
  • Mit einem Messvolumen von 650 x 550 mm geeignet für gedruckte Schaltungen

Anwendungen

  • Halbleiterbauteile: Flip-Chip/COF (Bump) / COG, CSP (FBGA) / SIP (Bump, Wire), Interposer (Pad-Höhe)
  • MEMS
  • Sondenkarte (Siliziumsonde, Au-Sonde)
  • Optische Präzisionsteile (Mikrolinsen, Kontaktlinsen)
  • Spacer für Fotolithografie, Breite/Höhe für Farbfilter bei Flachbildschirmen
 
Vorteile und Merkmale
 

Measurement examples

nikon metrology vision systems bright field VMZ K6555 Hellfeld  nikon metrology vision systems confocal image VMZ K6555Konfokales Bild   nikon metrology vision systems 3d cf image VMZ K65553D CF-Bild  
 nikon metrology vision systems edf image VMZ K6555EDF-Bild  nikon metrology vision systems csp bump height and size VMZ K6555CSP-Bump-Höhe und -Größe  nikon metrology vision systems bonding wire loop height VMZ K6555Bonddraht-Schleife Höhe

Konfokale Objektivlinsen

Konfokale Objektivlinsen Variante-S: 1.5x - W.D. 35mm, 3x - W.D. 24mm, 7.5x - W.D. 5mm
Konfokale Objektivlinsen Variante-H: 15x - W.D. 20mm, 30x - W.D. 5mm

 
Technische Daten
Objektiv
Vergrößerung 3x 7.5x 15x 30x
Arbeitsabstand 24mm 5mm 20mm 5mm
Konfokale Optiken (Flächen-/Höhenmessung)
Sichtfeld (FOV) 4 x 3mm 1,6 x 1.2mm 0,8 x 0,6mm 0,4 x 0,3mm
Wiederholgenauigkeit bei Höhenmessung (2σ) 0,35µm 0,25µm 0,25µm 0,20µm
Höhenmessung Auflösung 0,01µm      
Hellfeldbeobachtungsverfahren (2D-Messung)
Zoomverfahren Motorisierte 5-stufige Zoom-Vergrößerung
Sichtfeld (FOV) 4 x 3mm to 0,27 x 0,2mm 1,6 x 1,2mm to 0,11 x 0,08mm 1,26 x 0,95mm to 0,1 x 0,074mm 0,63 x 0,47mm to 0,05 x 0,04mm
Beleuchtung Weiße LED Auflicht- und Durchlichtbeleuchtung für alle Varianten, Weiße LED Ringbeleuchtung für 3x und 7,5x Varianten
Autofokus Vision AF und TTL Laser AF (Scanmodus erhältlich)
Grundgerät
Messweg (X, Y, Z) 300 x 400 x 150mm
Garantierte Tragfähigkeit 30kg
Max. zulässige Abweichung MPEE1X 1.5 + 2.5L/1000µm
Max. zulässige Abweichung MPEE1Y 2.5 + 2.5L/1000µm
Max. zulässige Abweichung in der Z-Achse MPEE1Z 1 + L/1000µm
Gewicht Haupteinheit 830kg
Stromversorgung/Stromverbrauch AC 100 bis 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A bis 6,5A
Betriebsbedingungen Temperatur: 20 °C ± 0,5°, Luftfeuchtigkeit: höchstens 70%
Klassifizierung (Standard) CE-Kennzeichnung (Niederspannungsrichtlinie//EMV/Laserklasse)
Standfläche 2500 x 1900mm
 
Prospekte
NEXIV VMZ-K Series
NEXIV VMZ-K Series

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Industrielle Anwendungen
 
Verwandte Produkte
 

Prospekte

NEXIV VMZ-K Series
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