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NEXIV VMZ-K3040 - Bahnbrechendes konfokales Videomesssystem mit vielfältigen Funktionen

nikon metrology vision systems confocal VMZ K3040Die Grundausstattung umfasst Konfokaltechnik, Hellfeldobjektive mit 15-fachem Zoom und einen TTL Laser. Ganz gleich, welche Geometrien Sie messen möchten – mit diesem System können zwei- und dreidimensionale Prüfungen und Analysen extrem schnelle und präzise ausgeführt werden!

Das konfokale NEXIV-System eignet sich besonders für die Vermessung von verschiedensten Z-Reihen an hochentwickelten IC-Gehäusen, wie beispielsweise Wafer-Level-CSP, sowie für die Prüfung hochkomplexer Strukturen an MEMS und Sondenkarten.

Die wichtigsten Vorteile

  • Simultane Weitwinkel-Höhenmessung mit von Nikon entwickelter konfokaler Optik
  • 2D-Messung mit Hellfeld-Zoomoptik in 15-facher Vergrößerung
  • Vollständige Kompatibilität für die Prüfung von 300 mm Wafern in der Halbleiterfertigung
  • Universelles Modell für vielfältige Einsatzzwecke

Anwendungen

  • Halbleiterbauteile: Flip-Chip/COF (Bump) / COG, CSP (FBGA) / SIP (Bump, Wire), Interposer (Pad-Höhe)
  • MEMS
  • Sondenkarte (Siliziumsonde, Au-Sonde)
  • Optische Präzisionsteile (Mikrolinsen, Kontaktlinsen)
  • Spacer für Fotolithografie, Breite/Höhe für Farbfilter bei Flachbildschirmen
 
Vorteile und Merkmale
 

Measurement examples

nikon metrology vision systems bright field VMZ K6555Hellfeld  nikon metrology vision systems confocal image VMZ K6555Konfokales Bild   nikon metrology vision systems 3d cf image VMZ K65553D CF-Bild  
 nikon metrology vision systems edf image VMZ K6555EDF-Bild  nikon metrology vision systems csp bump height and size VMZ K6555CSP-Bump-Höhe und -Größe  nikon metrology vision systems bonding wire loop height VMZ K6555Bonddraht-Schleife Höhe

Konfokale Objektivlinsen

Konfokale Objektivlinsen Variante-S: 1,5x - W.D. 35mm, 3x - W.D. 24mm, 7.5x - W.D. 5mm
Konfokale Objektivlinsen Variante-H: 15x - W.D. 20mm, 30x - W.D. 5mm

 
Technische Daten
Objektiv
Vergrößerung 3x 7.5x 15x 30x
Arbeitsabstand 24mm 5mm 20mm 5mm
Konfokale Optiken (Flächen-/Höhenmessung)
Sichtfeld (FOV) 4 x 3mm 1,6 x 1,2mm 0,8 x 0,6mm 0,4 x 0,3mm
Wiederholgenauigkeit bei Höhenmessung (2σ) 0,35µm 0,25µm 0,25µm 0,20µm
Höhenmessung Auflösung 0,01µm      
Hellfeldbeobachtungsverfahren (2D-Messung)
Zoomverfahren Motorisierte 5-stufige Zoom-Vergrößerung
Sichtfeld (FOV) 4 x 3 mm bis 0,27 x 0,2 mm 1,6 x 1,2mm bis 0,11 x 0,08 mm 1,26 x 0,95 mm bis 0,1 x 0,074 mm 0,63 x 0,47 mm bis 0,05 x 0,04 mm
Beleuchtung Weiße LED Auflicht- und Durchlichtbeleuchtung für alle Varianten, Weiße LED Ringbeleuchtung für 3x und 7,5x Varianten
Autofokus Vision AF und TTL Laser AF (Scanmodus erhältlich)
Grundgerät
Messweg (X, Y, Z) 300 x 400 x 150mm
Garantierte Tragfähigkeit 20kg
Max. zulässige Abweichung MPEE1X 1.5 + 2.5L/1000µm
Max. zulässige Abweichung MPEE1Y 2.5 + 2.5L/1000µm
Max. zulässige Abweichung in der Z-Achse MPEE1Z 1 + L/1000µm
Gewicht Haupteinheit 850kg
Stromversorgung/Stromverbrauch AC 100 bis 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A bis 6,5A
Betriebsbedingungen Temperatur: 20 °C ± 0,5°, Luftfeuchtigkeit: höchstens 70%
Klassifizierung (Standard) CE-Kennzeichnung (Niederspannungsrichtlinie//EMV/Laserklasse)
Standfläche 2500 x 1600mm
 
Prospekte
NEXIV VMZ-K Series
NEXIV VMZ-K Series

en

 
Industrielle Anwendungen
 
Verwandte Produkte
 

Prospekte

NEXIV VMZ-K Series
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