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Der Smart Coater von JEOL ist eine vollautomatische Sputterbeschichtungsanlage, die feinzerstäubte Beschichtungen auf Proben für die Abbildung in einem Rasterelektronmikroskop aufträgt.

smart coater nikonLeitende dünne Dünnbeschichtungen sind ein wirksames Mittel, um Aufladungen durch nicht leitende Materialien oder die verstärkte Abgabe von Sekundärelektronen zu eliminieren. Der Smart Coater von JEOL ist eine vollautomatische Sputterbeschichtungsanlage, die feinzerstäubte Gold- oder (optional) Platin-Beschichtungen auf Proben für die Abbildung im Rasterelektronmikroskop aufträgt.

Diese Beschichtungsanlage arbeitet mit einer Niederspannungs-Entladungstechnik und einer Magnetron-Elektrode für das Hochleistungs-Kaltgasspritzen. Durch das Sputtern mittels Niederspannungstechnik sowie die Trennung des Objekts von der Elektrode werden Schäden am Prüfobjekt minimiert.

Das vollautomatische Vakuum und Sputtern machen den JEOL Smart Coater einfach in der Bedienung. Sie müssen nur das Objekt hineinstellen, die Anlage einschalten und die Sputterzeit auswählen. Die Kammer wird vakuumiert und das Sputtern automatisch gestartet. Beim Ausschalten der Anlage wird sie wieder auf den Atmosphärendruck zurückgeführt.

Die Dicke der Beschichtung richtet sich nach dem Kathodenabstand (Target), dem Abstand vom Tischmittelpunkt sowie der Sputterzeit. Zur Veranschaulichung werden unten die Grundbedingungen für eine Beschichtung und die entsprechenden Schichtdicken aufgeführt.

 

 
Technische Daten
Druck ~4 Pa
Kammergröße 86 mm (D) x 100 mm (H); Hartglas
Kathodengröße Au: 49,5 mm (D) x 0,1 mm (T)
Kathodenelektrode 20 mm (D)
Objekttisch-Größe 70 mm (D)
Objekttisch-Höhe Verstellbar zur Kathode (10 mm – 50 mm)
Sputterzeit 0,5 min/1 min/2 min (feste Zeit)
 
Prospekte
JEOL Smart Coater
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JEOL Smart Coater
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