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Eclipse L300N Series – FPD/LSI Industrie Mikroskope

nikon metrology industrial microscopes upright Eclipse L300N seriesFortschrittliche Optik aus dem Hause Nikon für unvergleichliche Prüfergebnisse von Wafern
Die Baureihe der Nikon Eclipse L300N/L300ND FPD / Wafer Prüfsysteme sind mit der renomierten CFI60 Optik aus dem Hause Nikon ausgestattet. Die fortschrittliche Epi-Fluoreszenz Funktion, die 365nm UV Anregung ermöglicht, ist für die Prüfung von Ablagerungen auf Wafern und die Untersuchung von Electro Luminescence Displays (ELD) geeignet.

Anwendungen

  • Antennen
  • Telekommunikation und Electronik
  • Teleskopoptiken
  • Mobiltelefone, Rasierapparate und Uhren
 
Vorteile und Merkmale
 

Epi-Fluoreszenzbeobachtung

Das L300N/L300ND verfügt über leistungsfähige Funktionen für die Epi-Fluoreszenzbeobachtung und erweitert die Prüffähigkeit  – inklusive elektronischer Anregung im 365 nm Bereich. Durchlichtbeleuchtung und verschiedene Beobachtungsverfahren wie Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation und DIC sind ebenfalls möglich. Diese vielseitigen Beobachtungsmöglichkeiten sind besonders bei der Prüfung von Halbleiterschutzschichten (Resist Residues) und organischen Leuchtdioden-Displays von Vorteil

nikon metrology industrial microscopes upright brightfield observation of wafer pattern L300NBrightfield observation of wafer pattern

nikon metrology industrial microscopes upright darkfield observation L300NDarkfield observation


nikon metrology industrial microscopes upright dic observation L300NDIC observation


nikon metrology industrial microscopes upright epi fluorescence observation organic subtsance on wafer L300NEpi-fluorescence observation of organic substance on wafer


Motorisierte Faserbeleuchtung auf Quecksilberbasis

  • Die motorisierte vorzentrierte Faserbeleuchtung Nikon Intensilight auf Quecksilberbasis ermöglicht eine hervorragende Auflicht-Fluoreszenzbeobachtung.
  • Eine Lampenzentrierung und Schärfenjustierung erübrigt sich, selbst nach einem Lampenwechsel
  • Die Lichtquelle kann entfernt vom Mikroskop aufgestellt werden, um höhere Temperaturen in der Nähe des Mikroskops und eine Defokussierung zu vermeiden.
  • Die regelbare Lichtintensität und Verschlusszeitsteuerung bieten vielseitige Möglichkeiten
  • Die Lampe hat eine durchschnittliche Lebensdauer von 2000 Stunden 

Viermal heller als die herkömmliche Durchlichtbeobachtung

Im L300ND kommen eine neue Lichtquelle und weiterentwickelte Optiken zum Einsatz. Das Ergebnis ist eine viermal hellere Beleuchtung als bei der herkömmlichen Durchlichtbeobachtung.


Lichtintensive 12V-50W Halogenbeleuchtung

Die neue lichtintensive 12V-50W Halogenbeleuchtung ist heller als die 12V-100W Standardbeleuchtung.

  • Hier kommt das vorzentrierte LV-LH50PC Lampenhaus zum Einsatz, das im Vergleich zu einer 12V-100W Beleuchtung eine größere Helligkeit bei nur halbem Stromverbrauch bietet. Geeignet für die Beobachtung von Halbleitern und LCDs.
  • Die Anbringung eines Spiegels auf der Rückseite des Lampenhauses und Optimierung der Filamentgröße der Lampe ermöglicht die effiziente und gleichmäßige Ausleuchtung der Pupillenebene – eine elementare Voraussetzung für ein Optiksystem. Objektive mit einer 50-fachen oder höheren Vergrößerung profitieren von einer Lichtintensität, die im Vergleich zur herkömmlichen 12V-100W Beleuchtung um 20 Prozent höher ist.
  • Verfügt über ein umweltfreundliches Design und reduziert die temperaturbedingte Defokussierung.

Das CFI60 Optiksystem zeichnet sich durch lange Arbeitsabstände und ein hohes Auflösungsvermögen aus

  • nikon metrology industrial microscopes upright CFI60 optics L300NDas Original-Optiksystem CFI60 von Nikon bietet dank seines hohen Auflösungsvermögens sowohl helle, scharfe Bilder als auch eine umfangreiche Auswahl an Proben und einfache Zugänglichkeit durch einen langen Arbeitsabstand.
  • Es erzeugt brillante, scharfe Hellfeldbilder, da das Streulicht auf ein Minimum reduziert wird.
  • Im Dunkelfeld-Beleuchtungssystem kommen „Fly-Eye LInsen“ zum Einsatz, die für eine gleichmäßige Ausleuchtung im gesamten Sichtfeld sorgen und bemerkenswert helle Dunkelfeldbilder in hoher Auflösung erzeugen.

Motorisierter universeller Objektivrevolver

Der neue motorisierte universelle Objektivrevolver ist dreimal so langlebig wie herkömmliche Modelle..

  • Bis zu sechs Objektive können installiert werden.
  • Er verfügt über drei zentrierbare Steckplätze. 
  • Eine optimale Zentrierung mindert das Risiko von Bildverschiebungen beim Wechsel des Objektivs, selbst bei einer hohen Vergrößerungsstufe. So sind gleichbleibende Beobachtungsbedingungen in allen Vergrößerungspositionen gewährleistet.
  • Zum Schutz der Augen des Bedieners wird die Beleuchtung während der Objektivumschaltung kurz unterbrochen (Anti-Blitzfunktion).

Fokussierziel für eine einfachere Schärfeneinstellung

nikon metrology industrial microscopes upright focusing target L300NDas Fokussierziel lässt sich leicht in den Strahlengang bewegen und ermöglicht eine einfache und präzise Feineinstellung des Fokus auf Proben mit niedrigen Kontrastwerten, wie beispielsweise unbearbeitete Wafer.


Antistatikbeschichtung für erhöhten Schutz vor Verunreinigung

Alle Teile des Mikroskops, die berührt werden können, einschließlich Haupteinheit, Objekttisch, Okulartubus und verschiedene andere Bedienelemente, wurden mit Antistatikbeschichtung versehen. Diese Beschichtung bietet einen höheren Schutz vor Verunreinigungen. Sie verhindert die Beschädigung von Proben aufgrund elektrostatischer Entladung und steigert somit die Produktivität.


Variabler Trinokulartubus für Beobachtungen mit optimalem Komfort

  • nikon metrology industrial microscopes upright tilting trinocular eyepiece tube L300NExtraweites 25 mm Sichtfeld und um 0° bis 30°.verstellbare Okularneigung
  • Auf diese Weise kann der Bediener die Augenhöhe anpassen, um Proben von einer komfortablen Position aus betrachten

Fixierte X-Y Feinsteuerung

  • Die Bedienelemente der X-Y Feinsteuerung sind komfortabel für den Bediener erreichbar.
  • Alle Steuerungen und die Feinabstimmung befinden sich nah beieinander und gewährleisten eine einfache Zugänglichkeit der Objekttischbedienung und Schärfenregelung.

Leicht zugängliche Bedienelemente

  • Alle wichtigen Bedienelemente – Knöpfe und Schalter – sind vorne am Mikroskop angeordnet und komfortabel erreichbar.
  • Während der Probenbeobachtung kann das Mikroskop mit nur wenigen Handbewegungen bedient werden.
  • So kommt es während längerer Beobachtungen kaum zu Ermüdungserscheinungen.

NIS-Elements

Die Bildgebungssoftware NIS-Elements von Nikon bietet leistungsstarke Funktionen zur Steuerung der Beobachtungsparameter, Bilderfassung und -analyse.

  • Alle Aspekte der Bildbeobachtung werden unterstützt, einschließlich Einrichtung der optimalen Beobachtungsbedingungen, digitale Erfassung, Verarbeitung und Analyse von Bildern.
  • Ausgeklügelte Funktionen, wie beispielsweise Großbild-Stitching, erweiterte Tiefenschärfe (Extended Depth of Focus - EDF) und automatische Messung
 
Prospekte
L200N-L300ND
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Microscope components for reflected light applications
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Industrielle Anwendungen
 

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