Rasterelektronenmikroskop der nächsten Generation

nikon metrology scanning electron microscopes scanning electron JCM 7000

JEOL NeoScope JCM-7000 REM

Die hochmodernen Automatisierungsfunktionen, der automatisierte Objekttisch und die Software des JCM-7000 ermöglichen eine einfache Proben-Bildgebung und Elementanalyse für Anwender jedes Erfahrungsstands.

Ausgestattet mit einer großen Probenkammer, Hoch- und Niedervakuum-Betriebsmodi, einem Sekundär- und einem Rückstreuelektronendetektor, einer Echtzeit-3D-Bildgebung, bedienerfreundlichen Messfunktionen und einer optionalen vollintegrierten energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS) ist das JCM-7000 NeoScope :

 

SMART– VIELSEITIG – LEISTUNGSFÄHIG

  • Smart – In der Tischplattform sind neueste Innovationen integriert, um die Rasterelektronenmikroskopie (REM) jedem zugänglich zu machen. Über eine intuitive Softwareoberfläche hat der Anwender alle Steuerelemente sofort im Griff. Die Einrichtung der Prüfbedingungen erfolgt automatisch in wenigen Minuten, orientiert am Probentyp und der jeweiligen Bildgebungsanwendung. Die stufenlose Navigation von der Abbildung, die der Probenhalter oder die (optionale) Optik wiedergibt, zum hochauflösenden REM-Bild steigert die Produktivität.

  • Vielseitig – Schaffen Sie sich die richtige Plattform. Ergänzen Sie Ihr Gerät um Optionen wie das SNS (Stage Navigation-System mit Farbkamera), den motorisierten Probenmanipulator mit Kipp- und Drehfunktion, die vollintegrierte EDS für Elementaranalysen und die „Smile View Map“ für die 3D-Rekonstruktion von Bildern und die Oberflächenanalyse.

  • Leistungsfähig – Die hochauflösende Röntgenquelle mit Wolfram-Filament ermöglicht eine bis zu 100.000-fache Vergrößerung. In der großen Analysekammer können Proben bis zu einer Größe von 80 mm (T) x 50 mm (H) gehandhabt werden. Die Sekundär- und Rückstreuelektronendetektoren sowie der Betrieb im Hoch- und Niedervakuum ermöglichen die Untersuchung unterschiedlichster Probentypen. Der Rückstreuelektronendetektor unterstützt die Echtzeit-3D-Bildgebung und liefert Informationen zur Topographie der Probe.

 

Merkmale

  • Zeromag – Vereinfacht die Navigation und verbessert den Durchsatz durch den nahtlosen Übergang vom Bild der (optionalen) Farbkamera oder der Abbildung am Probenhalter zum Echtzeitbild des REM.
  • Montage – Möglichkeit, die automatisierte Zusammenführung (Stitching-Funktion) von mehreren Bildern und automatisierte Montage von EDS-Mappings einzurichten.
  • Mehrere Betriebsarten für die Echtzeit-Bildgebung – Gleichzeitige Sekundär- und Rückstreuelektronenbildgebung, einschließlich Signalmischung und Regelung jedes Detektorbeitrags durch den Bediener.
  • Einfache Installation – Dieses System eignet sich für elektrische Ausgänge des Standardtyps (kein besonderer Schaltkreis erforderlich).
  • SmileView™ Lab – Software zur zentralen Datenverwaltung, die das (optische) SNS-Bild, REM-Bilder sowie Ergebnisse der EDS-Analyse und entsprechende Positionsdaten miteinander verbindet. Intelligentes Layout für Berichte.

 


Vorteile und Merkmale

 

Effizienteres Arbeiten

Welcher Fremdstoff wurde erstmals mit dem optischen Mikroskop beobachtet? Gibt es Probleme mit der Form des Teils? War der Ausgangsstoff kontaminiert oder entsprach er nicht der Spezifikation? Lassen Sie sich die Morphologie und Kompositionsverteilung (Bestandteile), die nicht vollständig mit einem optischen Mikroskop allein identifiziert werden können, schnell bestätigen.

Effizienzsteigerung: Beispiel – Qualitätskontrolle

Das REM bietet die Möglichkeit, Beobachtungen zur Kompositionsverteilung in Kontraststufen auszuführen, die mit einem optischen Mikroskop nicht möglich sind. Sie erhalten selbst in der gleichen Vergrößerungsstufe mehr Informationen. Im Niedervakuum-Betriebsmodus können Beobachtungen und Analysen ausgeführt werden, ohne dass eine Probenpräparation erforderlich wäre.

  


 

Nahtloser Übergang von der optischen zur REM-Bildgebung

holly leaf exampleStechpalmenblatt bei 100 μm und 10 μm. Zeromag (Optionales Zubehör)

Beim Einsetzen der Probe wird automatisch ein optisches Bild aufgenommen. Suchen Sie das Sichtfeld auf dem optischen Bild, vergrößern Sie dann den Zielbereich, um automatisch zu einem REM-Bild zu wechseln. Der Übergang zur Beobachtungsposition für eine schnelle Erfassung des REM-Bilds ist einfach und in wenigen Schritten erledigt.

salt rock exampleSalzgestein bei 500 μm und 10 μm.

Niedervakuum-Betrieb

Neben dem Hochvakuum-Betrieb für die kristallklare REM-Beobachtung der Oberflächenmorphologie verfügt das JCM-7000 zusätzlich über zwei Niedervakuum-Betriebsmodi für die Betrachtung und Abbildung verschiedener nichtleitender Proben ohne Präparation.

 


 

screening whilst performing observation with live analysisScreening und gleichzeitige Beobachtung mit Live-Analyse.

Nahtloser Übergang von der REM-Bildgebung zur EDS-Analyse

Dank der Live-Analysefunktion können REM-Beobachtung und EDS-Analyse in einem Durchgang ausgeführt werden. Das Röntgenspektrum mit den wichtigsten Bestandteilen wird in Echtzeit auf dem Beobachtungsschirm angezeigt.

Das JCM-7000 verfügt außerdem über eine „Live-Map“ zur Echtzeit-Betrachtung der räumlichen Verteilung von Elementen. Live Map macht es einfacher, die zu prüfenden Elemente zu finden und unerwartete Elemente aufzudecken.

 


 

Einfache Erstellung von Berichten und Datenverwaltung

SMILE VIEW Lab ist eine vollintegrierte Datenverwaltungssoftware, die optische Bilder, REM-Bilder, Ergebnisse der EDS-Analyse und entsprechende Koordinaten der Objektträger zusammenfasst. Damit lassen sich Berichte schnell erstellen oder Probenpositionen und REM-Bedingungen für weitere Studien abrufen.

Stapelverarbeitung von Berichten

Im Datenverwaltungsbildschirm können Anwender Daten überprüfen oder neu auswerten sowie Chargenberichte mittels einer Analyse aller Daten und REM-Bilder erstellen. Der Datenverwaltungsbildschirm kann über die Datenverwaltungsschaltfläche oder von der Messdaten-Liste aus geöffnet werden. Nach Auswahl der Daten kann mit nur einem Klick ein Bericht erstellt werden. Berichte können in PDF-, Microsoft Word- oder PowerPoint®-Formate exportiert werden.

 


 


Technische Daten

 
Direktvergrößerung  x 10 bis 100
Die Vergrößerung ist auf 128 mm x 96 mm festgelegt
Anzeigevergrößerung  x 10 bis 202.168
Die Vergrößerung ist auf 280 mm x 210 mm festgelegt
Betriebsmodus  Hochvakuum-Betrieb: Sekundärelektronenbild, Rückstreuelektronenbild (Komposition, Topographie und Schatten, 3D-Bilder) 
Niedervakuum-Betrieb: Rückstreuelektronenbild (Komposition, Topographie und Schatten, 3D-Bilder)
Beschleunigungsspannung 5 kV, 10 kV, 15 kV  (3 Stufen)
Strahlsystem  Tungsten filament / Wehnelt Integrated gird
Objekttisch  Motorbetrieben in X-Y
X: 40 mm Y: 40 mm
Maximale Probengröße  80 mm Durchmesser x 50 mm Höhe
Probenwechsel Ausschleusungsmechanismus
Pixel für Bildaufnahme 540 x 480, 1.280 x 960
2.560 x 1920, 5.120 x 3.480
Automatikfunktionen Ausrichtung, Fokus, Stigma, Helligkeit/Kontrast
Messfunktionen Abstand zwischen 2 Punkten, Winkel, Gerade, Breite
Dateiformat BMP, TIFF, JPEG, PNG
Computer Desktop PC Windows® 10
Bildschirm 24 Zoll
Vakuumanlage Vollautomatische Turbomolekularpumpe (TMP): 1, Drehschieber-Vakuumpumpe: 1

 

Voraussetzungen für die Installation

 
 Spannungsversorgung

Einphasig 100 V AC (120 V, 220 V, 240 V werden unterstützt) 50 / 60 Hz
Maximal 700 V A
(10 V AC), 840 V A (120 V AC)
880 V A (220 V AC), 960 V A (240 V AC)

Schwankungstoleranz 90 bis 110 V bei 100 V Spannungsversorgung
108 bis 132 V bei 120 V Spannungsversorgung
198 bis 242 V bei 220 V Spannungsversorgung
216 bis 250 V bei 240 V Spannungsversorgung
Erdung
Aufstellort Temperatur: 15 bis 30°C
Luftfeuchtigkeit: 30 bis 60% relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)
Magnetstreufelder: 0,3 μT oder weniger (50/60 Hz, Sinuswelle)
Tisch: 100 kg oder höher, mit stabiler Struktur
Abmessungen Grundgerät (B) 324 mm x (T) 586 mm x (H) 566 mm
Gewicht Grundgerät 67 kg
 

Prospekte

 

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