ECLIPSE L300ND, L300N und L200ND, L200N

Nikons ECLIPSE L300ND, L300N und L200ND, L200NA sind Halbleitermikroskope, die sich ideal für die Inspektion von integrierten Schaltkreisen (IC), Flachbildschirmen (FPD), elektronischen Bauteilen mit hoher Integrationsdichte (LSI) und vielen weiteren Anwendungen eignen.

Moderne Halbleitermikroskope für die Inspektion der neuesten Fabrikationen

Die hervorragenden Optiken der Nikon CFI60-2 Serie liefern exzellente Bilder für beide Okulare und auch für die digitalen Nikon-Kameras mit Analyse-Software. Die Kombination dieser überlegenen Optik mit einem außergewöhnlichen Beleuchtungssystem liefert Bilder mit hervorragendem Kontrast und Auflösung.

Nikon ECLIPSE L300N(D) und L200N(D)

Diese Mikroskope sind für die außergewöhnlich präzise optische Inspektion von Wafern (200 mm für die L200N-Serie und 300 mm für die L300N-Serie), Photomasken und anderen Substraten geeignet.

Nikon CFI60-2 Objektiv-Serie

Nikons innovatives Design ermöglicht klare Abbildungsverfahren, einschließlich Hochkontrast, Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation (POL), differentieller Interferenzkontrast (DIC) und optischer Kontrast durch Doppelstrahlinterferometrie.

Nikon Digital Sight Kameras

Die gesamte Palette der Digital Sight-Kameras von Nikon erfasst effizient Bilder einer Probe und übergibt sie an die Bildverarbeitungssoftware der NIS-Elements-Suite, zusammen mit Mikroskopdaten über das verwendete Objektiv, die Vergrößerungseinstellung und die Lichtintensität.

Integration von L200N und Wafer Loader NWL200

Nikon-Waferlader sind in der Halbleiterindustrie gut akzeptiert und vertrauenswürdig, und viele Installationen sind heute im Einsatz.

Produkthighlights

Nikon CFI60-2 Objektiv-Serie

Nikons innovatives Design ermöglicht klare Abbildungsverfahren, einschließlich Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation (POL), differentiellem Interferenzkontrast (DIC) und Zweistrahl-Interferometrie mit hohem Kontrast.

Universelle optische Kontrastverfahren

Reflektiertes Licht: Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation (POL), differenzieller Interferenzkontrast (DIC), Epi-Fluoreszenz und Zweistrahl-Interferometrie. Durchlicht: Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation, differentieller Interferenzkontrast und Phasenkontrast.

Intelligente digitale Kommunikation

Das Mikroskop erkennt und steuert das verwendete Objektiv, die Lichtintensität, die episkopische Beleuchtung und die Blende über eine USB-Verbindung zur NIS-Elements-Software von Nikon.

Ergonomisches Gestaltungskonzept

Die optimale Positionierung der Bedienelemente mit dem winkelverstellbaren Einblicktubus ermöglicht ein ermüdungsfreies Arbeiten. Für die korrekte Beobachtung von Rohstoffen, Halbleitern und industriellen Bauteilen wird seitenrichtiges, aufrechtes geliefert.

Wesentliche Eigenschaften

Branchen

Die Applikationen konzentrieren sich auf Inspektionsaufgaben in den Bereichen Elektronik und Telekommunikation. Antennenwellenleiter werden mit höchster Präzision gemessen, ebenso wie andere Komponenten wie Wafer für Halbleiter- oder Photovoltaikgeräte und mikroelektromechanische Systeme (MEMS), die beispielsweise in Smartphones, Gyroskopen und Beschleunigungsmessern verwendet werden.

Aufrechte Mikroskope L-Serie

Digital Sight Serie

NIS Elements

Zugehörige Produkte

Mikroskop-Komponenten

Die Mikroskop-Komponenten von Nikon werden für die Integration der Mikroskope in Fertigungsanlagen oder Überwachungssysteme verwendet, die eine außergewöhnlich hohe Präzision erfordern.
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NWL_L200N

NWL200 Wafer Loader Serie

Nikons innovative, voll ausgestattete NWL200 Waferloader unterstützen die umfassende Inspektion von Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von 6" (150 mm) und 8" (200 mm) mit Hilfe eines optischen Mikroskops oder eines Videomesssystems, z. B. Nikon NEXIV.
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