Eclipse LV-DAF - Die perfekte Autofokus-Systemlösung für Eclipse-LV-Mikroskope und OEM- Applikationen.

nikon metrology industrial microscopes upright Eclipse LV DAFLV-DAF mit dem Hybrid-Auto-Fokussystem verbindet die Vorteile zweier verschiedener Autofokussysteme zu einer gelungenen Kombination. Es bietet schnelle, vielseitige Autofokus-Funktionen für die Spaltprojektion und Kontrasterkennung in einem großen Fokussierbereich mit schnellen Abtastfunktionen. Unterstützt werden unterschiedliche Beobachtungsmethoden, einschließlich Hellfeld, Dunkelfeld und differentiellem Interferenzkontrast (DIC) sowie verschiedene transparente Proben.

Anwendungen

  • Antennen
  • Telekommunikation und Electronik
  • Teleskopoptiken
  • Mobiltelefone, Rasierapparate und Uhren

Vorteile und Merkmale

Hybrid-Auto-Fokus

Die beiden für Mikroskope gebräuchlichen Arten von Auto-Fokussystemen sind Spaltprojektion und Kontrasterkennung.

Das Spaltprojektionssystem projiziert ein Spaltbild und erfasst die Veränderung im reflektierten Licht. Dieses System ist bei großem Zoombereich empfehlenswert.

Das Kontrasterfassungssystem projiziert ein Spaltmuster und erfasst den Kontrast des reflektierten Lichts. Dieses System ist für Zoomgenaugikeit vorteilhaft und ist möglich, weil das Autofokussystem weniger von Abweichungen auf der Probenoberfläche beeinflusst wird.

Hybrid-Auto-Fokus kombiniert die Vorteile beider Systeme und macht das Beste aus diesem geballten Potenzial.

 

nikon metrology industrial microscopes upright hybrid diag Eclipse LV DAF


Design

Der Controller hat dasselbe Hardware-Design wie das LV-ECON. Eine kompakte Grundfläche ermöglicht Übereinanderstapeln und flexiblen Einsatz.


Modellreihe LV-Mikroskope

Das LV-DAF ist mit anderen Produkten der LV-Modellreihe kombinationsfähig. In Verbindung mit dem LV-ECON ermöglicht es die Beobachtung unter für die jeweilige Probe optimalen Bedingungen.


Software Development Kit

Zum Nikon-Produktprogramm gehört ein Software Development Kit (SDK) für die Integration des LV-DAF in verschiedene Systeme. (Die Kompatibilität kann nur für Nikon-Produkte garantiert werden.)


Steuerung

LV-DAF kann über USB- oder RS232C-Anschluss von einem PC oder einem Digitalkamerasystem DS-L2 für Mikroskope gesteuert werden.


Auto-Adjustment Programm

Das im Standardlieferumfang enthaltene Auto-Adjustment Programm für schnelles Einrichten des Systems führt nach Fokussierung des Systems und Betätigung der Schaltfläche zum Starten des Setup eine sofortige, automatische Anpassung durch. Es ermöglicht außerdem die automatische Festlegung und Speicherung optimaler Parameter für jede Probenart, die je nach zu fotografierender Probe wieder aufgerufen werden können.


LED-Lichtquelle

Das LV-DAF enthält als Auto-Fokus-Lichtquelle eine helle LED. Da es auch automatisch die Autofokus-Leuchtstärke an die Probe anpasst, werden Proben mit niedriger und hoher Reflektivität unterstützt..


Verschiedene Beobachtungsmethoden

Eine große Auswahl an Beobachtungsmethoden wird unterstützt, einschließlich Hellfeld, Dunkelfeld und DIC, desgleichen reflektierende und transparente Proben.


Großer Zoombereich

Der Zoombereich ist deutlich größer als mit Kontrasterfassung allein. Proben mit Oberflächenverformungen, wie Flüssigkristallsubstrate, können schnell abgetastet werden und ermöglichen rasche Fokussierung.


Spezifikationen

¹ Gilt nicht uneingeschränkt für 2,5x und 100x.
² Unter Verwendung einer herkömmlichen Cr-Probe von Nikon für die Dampfphasenabscheidung.
³ Unter Verwendung der Modelle LV-IMA oder LV-FMA. 

 
Erfassungssystem Hybrid-System, das die Spaltprojektion mit der Kontrasterkennung kombiniert
Autofokus-Lichtquelle LED-Beleuchtung im nahen IR-Bereich (λ = 770 nm)
Objektivlinse Objektivlinse (2,5x-100x) der Modellreihe CFI60 (mit großen Arbeitsabständen (extra-long working distance - ELWD), extra großen Arbeitsabständen (super-long working distance - SLWD) und CR für die Inspektion von LCD-Substraten
Autofokus-Betrieb Stufenloser Zoom und Suchmodus (einstufig, stufenlos)
Zoombereich Zoombereich ohne Suche (Hellfeld)²
2,5x: min. 5,5 mm, 5x: min. 4,5 mm, 10x: min. 1,3 mm, 20x: min. 320 μm, 50x: min. 50 μm, 100x: min. 10 μm
Fokussierzeit maximal 0,7 Sekunden (20x: 200μm ohne Suche)² ³
Fokussiergenauigkeit (Reproduzierbarkeit) maximal 1/2 der Schärfentiefe² ³
AF-Offset Ermöglicht bei der Beobachtung die präzise Ausrichtung der Fokuslage bei gleichzeitiger Anwendung des Autofokus
Minimale Auflösung des Fokussiertriebs 0,05 μm¹
Anschlüsse RS232C, USB und parallele Ein- und Ausgänge (I/O)
Stromquelle 100-240 V AC, 1,0 A, 50/60 Hz
 

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